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作者:[195p4r] 發(fā)布時(shí)間:[2024-05-25 01:51:20]

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黃光凈化車間安裝#新鮮報(bào)價(jià)(2024已更新)(今日/行情), #為什么光刻無塵室要用黃光燈管?#上海凈化工程,18年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),也會(huì)遇到在設(shè)計(jì)有些潔凈實(shí)驗(yàn)室、實(shí)訓(xùn)室的時(shí)候,如光刻、PCB線路板、SMT貼片等場(chǎng)景,不是使用潔凈室常用的LED平板燈、紫外線殺菌燈,而是使用黃光燈。那么,黃光燈有什么用處呢?首先,黃光燈,一種可以將部分紫外線去除的燈,僅僅含有純黃色的光譜,但是光線柔和無炫目。而紫外線殺菌燈則恰恰是利用紫外線來對(duì)空氣中的細(xì)菌進(jìn)行消殺。第:為什么光刻實(shí)驗(yàn)室(潔凈室)會(huì)使用黃光燈呢?是因?yàn)樵诎雽?dǎo)體的生產(chǎn)過程中,光刻膠中某些材料對(duì)紫外線較為敏感,而黃光的波長(zhǎng)較長(zhǎng),不容易引起敏感材料的化學(xué)反應(yīng)。在某些光刻工藝中,黃光作為單一波長(zhǎng)的光源,能避免出現(xiàn)光照不均的問題,可以提高圖案制作的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。另外黃光發(fā)塵量更低,適合光刻潔凈實(shí)驗(yàn)室內(nèi)使用。 黃光凈化車間安裝#新鮮報(bào)價(jià)(2024已更新)(今日/行情)

上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區(qū)以免感光。己上妥光阻,而在等待對(duì)準(zhǔn)曝光之芯片,應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi), 盒蓋必須蓋妥。光罩使用時(shí)應(yīng)持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮吹之。曝光時(shí),應(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)燈。進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后,應(yīng)先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。

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預(yù)濾應(yīng)每1-2個(gè)月更新。膜管應(yīng)視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新。樹脂混床視比電阻值更新。精密過濾約每2-4個(gè)月更新。在半導(dǎo)體制程中,涂布光阻后的芯片,須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影,此臺(tái)曝光機(jī)為OAI200系列,整合光罩對(duì)準(zhǔn)、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測(cè)量裝置及光罩夾持裝置。OAI200系列為一入門型光罩對(duì)準(zhǔn)儀,可以手動(dòng)操作更改各項(xiàng)使用參數(shù),如曝光時(shí)間、曝光強(qiáng)度及曝光功率等等。對(duì)于中高階的線寬有很好的顯影效果,此系列大可使用吋的芯片,大的曝光功率為1KW。以及黃光室的氮?dú)忾y、空氣閥是否有開啟。 黃光凈化車間安裝#新鮮報(bào)價(jià)(2024已更新)(今日/行情)

黃光凈化車間安裝#新鮮報(bào)價(jià)(2024已更新)(今日/行情), 擺置芯片于石英舟時(shí),若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進(jìn)氧化爐。請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。手套,廢紙及其它雜碎東西,請(qǐng)勿留置于操作臺(tái),手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。非經(jīng)指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,顏色,聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)人員。儀器因操作錯(cuò)誤而有任何損壞時(shí),務(wù)必立刻告知負(fù)責(zé)人員或老師。芯片盒進(jìn)出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進(jìn)入。無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。濕度及溫度會(huì)影響對(duì)準(zhǔn)工作,在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度,并應(yīng)減少對(duì)準(zhǔn)機(jī)附近的人,以減少濕、溫度的變化。

把芯片放置于石英舟上,準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí),若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規(guī)定位置,盡可能不讓它暴露。避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進(jìn)擴(kuò)散爐前,請(qǐng)?zhí)貏e注意,防止上述動(dòng)作產(chǎn)生,若芯片上沾有纖維屑時(shí),用氮噴之。上,取出芯片時(shí),必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。芯片上,若已長(zhǎng)上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。操作時(shí),不論是否戴上手套,手絕不能放進(jìn)清洗水槽。使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí),務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),不可使用塑料盒。

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