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2. 溫濕度控制：設(shè)置恒溫恒濕系統(tǒng)，保持潔凈區(qū)內(nèi)的溫度和濕度穩(wěn)定，以滿足半導(dǎo)體制造的要求。3. 靜電控制：采取合適的靜電消除措施，如使用靜電消除器、接地裝置等，以減少靜電對半導(dǎo)體器件的影響。

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換氣次數(shù)以及新風(fēng)量大。在生產(chǎn)和制造電子產(chǎn)品時(shí)，通常會用到很多的化學(xué)物品，而且會產(chǎn)生非常多的廢氣，應(yīng)當(dāng)從室內(nèi)排出。實(shí)踐中，為了能夠有效確保室內(nèi)正壓以及衛(wèi)生條件達(dá)標(biāo)，應(yīng)當(dāng)大量補(bǔ)充新風(fēng)?？照{(diào)冷負(fù)荷大而且濕負(fù)荷小，所以熱濕比近似無窮大。在電子行業(yè)領(lǐng)域，潔凈室因工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中發(fā)熱量較大，工作人員通常會穿著密封的防塵服。工藝生產(chǎn)環(huán)境下，為了能夠有效減少發(fā)生靜電現(xiàn)象，應(yīng)避免空氣過于干燥。由此設(shè)計(jì)過程中空調(diào)系統(tǒng)在處理室內(nèi)回風(fēng)時(shí)應(yīng)該盡可能避免是減濕過程。

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新風(fēng)機(jī)組空氣處理過程：新風(fēng)經(jīng)過初效過濾后進(jìn)入表冷盤管，冷盤管降溫除濕將新風(fēng)處理到潔凈室露點(diǎn)溫度后進(jìn)入加熱盤管，然后進(jìn)入次加熱盤管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設(shè)計(jì)要求范圍內(nèi)，后由風(fēng)機(jī)將處理的新風(fēng)送到中效和送風(fēng)段，經(jīng)過風(fēng)管將空氣送到潔凈室的天花頂?shù)撵o壓箱中，和潔凈室的回風(fēng)混合，通過風(fēng)機(jī)過濾段單元送到潔凈室內(nèi)。

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