影像型工具顯微鏡TMM-2010S
影像型工具顯微鏡TMM-S系列
產(chǎn)品特色
軸0.0005mm解析度
2.高精度非接觸式光測(cè)高度量測(cè)模組
3.具Z軸粗細(xì)調(diào)轉(zhuǎn)盤
4.同軸表面光/底光量測(cè)
5.內(nèi)建偏光量測(cè)光學(xué)模組
6.可量測(cè)透明材質(zhì)高度差
TMM-S/D系列規(guī)格:
儀器型號(hào) | TMM-1510S | TMM-2010S | TMM-3020S | |
工作臺(tái)金屬臺(tái)面尺寸(MM) | 354*228 | 404*228 | 500*330 | |
工作臺(tái)玻璃臺(tái)面尺寸(mm) | 210*160 | 260*160 | 350*250 | |
工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 150*100 | 200*100 | 300*200 | |
儀器重量(kg) | 100 | 110 | 140 | |
外形尺寸(mm) | 590(左右手輪距離)*560(前面板到后花崗石)*850(腳墊底部到保護(hù)鏈頂部) | 590*720*850 | ||
Z軸工作距離(mm) | 120 | |||
XYZ軸光學(xué)尺解析度 | 0.5um | |||
xy坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)um L為測(cè)量長(zhǎng)度單位mm | |||
測(cè)量軟件 | QMS3D-M | |||
影像系統(tǒng) | 彩色1/2〞CCD攝像機(jī)640*480 | |||
顯微鏡系統(tǒng) | 三目頭 目鏡:10倍 濾光片:紅,藍(lán),綠 測(cè)量模式:反射,透射,偏光 5孔物鏡轉(zhuǎn)換鏡 | |||
照明光源 | 透射照明光源:綠光 LED 亮度可調(diào) 同軸照明光源,鹵素?zé),亮度可調(diào) | |||
電源 | AC 110V 50/60HZ(標(biāo)準(zhǔn)),AC 220v 50/60hz(選配) | |||
功率 | ﹤60w(不含電腦) | |||
物鏡 | ||||
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
20.0 | 18.3 | 8.8 | 2.0 | |
1.23*0.91 | 0.62*0.46 | 0.31*0.23 | 0.12*0.09 | |
選配件 | ||||
高度量測(cè)模組 | 光干涉高度量測(cè)模組10X | |||
建議 | ||||
放置臺(tái) | 載重量≧350kg ,尺寸(長(zhǎng)*寬*高):1000*600*500 |