低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，最初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業(yè)惡臭、異味、有毒有害氣體處理。

      該技術節(jié)能、環(huán)保，應用范圍廣，所有化工生產環(huán)節(jié)產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。 

      等離子體工業(yè)廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環(huán)境。由于其對污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點，為工業(yè)廢氣的處理開辟了一條新的思路。

     作用原理 低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。