真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。常用真空泵包括干式螺桿真空泵，惠州干燥真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，惠州干燥真空泵， 伴隨著我國經濟持續(xù)高速發(fā)展，惠州干燥真空泵，真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量�；葜莞稍镎婵毡�
在復合分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。噴射真空泵：分水噴射泵、氣體噴射泵和蒸汽噴射泵三大類噴射真空泵是利用液體或者氣體的高速射流攜帶被抽氣體，使被抽容器內獲得一定真空度的一種低真空泵。水噴射泵是用水作為工作介質，通過高速射流來引射被抽氣體，使容器達到一定真空度的粗真空獲得設備。單級泵的限壓強為3.3kPa，兩級串聯(lián)可獲得好一些的真空度，主要受水飽和蒸汽壓的限制�？蓡为毷褂�，也可作為其他真空泵的前級。廣州試驗真空泵我們應正確地選擇組合的真空泵。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇真空獲得設備。傳動軸連接主動轉子，通過*齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，*齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉子連接，少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。
鋯鋁吸氣泵的工作條件，壓強低于10-3Pa時，抽活性氣體的工作溫度為400 ℃，體內擴散速率是金屬表面維持足夠的吸氣速率而不能釋放氫；10-3~1Pa范圍內，抽活性氣體工作溫度為750 ℃一一提高溫度加速體內擴散，加速清洗吸氣劑表面，對H2要求高抽速，工作溫度為400 ℃，對純氫要求大抽速和大吸氣量是，工作溫度一般為200~300 ℃，對純氫要求盡可能大的吸氣量而不需要大抽速時，可室溫工作，高真空或者超高真空系統(tǒng)中，工作溫度一般為400 ℃。真空泵的泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染。
螺桿真空泵與爪形真空泵的特點對比：共同點：同為干式真空泵，具備干式真空泵的共同優(yōu)點；對被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空泵腔內無油，非常容易實現(xiàn)對溶劑的回收;結構緊湊，占地面積小。單泵即可達到30Pa~5Pa的限壓力，工作范圍較寬;因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環(huán)境無污染;對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小，根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機組，可很好地提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。真空泵在較寬的壓力范圍內有較大的抽速�；葜莞稍镎婵毡�
選擇真空泵：需要知道氣體成分�；葜莞稍镎婵毡�
鋯鋁吸氣泵采用鋯鋁合金材料在高溫下吸附活性氣體；鋯鋁吸氣泵，優(yōu)點：結構簡單、體積小、造價低，操作安全可靠，維修方便，清潔無油，對活性氣體，尤其是對氫具有很高的抽氣能力。缺點：不能抽惰性氣體,鋯鋁吸氣泵對氫、氘、氚吸氣是可逆的，其他活性氣體則是以穩(wěn)定的化合物形式擴散到吸氣劑內。鋯鋁吸氣泵的飽和與重啟，鋯鋁吸氣劑長期在高溫下工作，會出現(xiàn)“飽和”，吸氣率下降；甚至吸氣劑表面形成氧化膜，失去吸氣性能,當吸氣速率降低到80%時，就需要進行再重啟處理：在<1Pa的壓強下，加熱至750~850 ℃ ，使吸氣劑表面的固體氧化膜分解，使金屬和氣體的產物向更深的體內擴散，生出高度活潑的金屬表面，同時除去過量的氫一般的吸氣帶可以反復重啟多次(~20次)，直到全部的吸氣劑飽和為止一更換鋯鋁合金吸氣帶�；葜莞稍镎婵毡�
