精密測量技術(shù)是先進(jìn)制造發(fā)展的前提和基礎(chǔ)，降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，還提高了生產(chǎn)效率。在制造信息化的時(shí)代背景下，現(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測量要求高精度化、低成本和小型化，其中光學(xué)測量技術(shù)迅速發(fā)展，利用光學(xué)原理開發(fā)的非接觸測量機(jī)及各種如光學(xué)三維輪廓儀裝置進(jìn)一步提高了精度化、測量效率。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1三維形貌測量儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便。其分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量。

技術(shù)指標(biāo)

標(biāo)準(zhǔn)配置

可選配置

被測樣品特性

樣品特性：超光滑面、粗糙面、低反射率面、高反射率面均可。

三維形貌測量儀采用的光學(xué)非接觸式測量方法，具有測量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其獨(dú)特的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

場景一：粗糙的特征表面

場景二：超光滑的弧形表面

SuperView W1三維形貌測量儀可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數(shù)……在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用，可測光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……

中圖儀器，致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案！