Novec™ 7200工業(yè)用化學(xué)液
·清潔用的化學(xué)液
Novec ™ 7200的沸點為76°C,其溶解力適用于氣相去污、濕式清潔和晶圓傳送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的凈化。此化學(xué)液能的低表面張力,可清潔輕型的臟污,像是微顆粒物質(zhì)、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶劑搭配,用于清潔重臟污。Novec ™ 7200不會破壞臭氧層(ODP值=零),且全球暖化潛值低 (GWP=55),大氣存留時間短(ALT=0.77年)。且不被列為揮發(fā)性有機化合物(volatile organiccompound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美國環(huán)境保護局認同的顯著新替代方案(U.S. EPA's Significant New Alternatives Policy (SNAP) program)。
·沉積用的溶劑
Novec ™ 7200其低黏稠度及低表面張力的特性,提供了此化學(xué)液高潤濕性與易流動的性能,其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類似。能有效的分解全氟聚醚(PFPE)潤滑劑。 Novec ™ 7200 無毒性,不會破壞臭氧層(ODP值=零),且全球暖化潛值低 (GWP=55),大氣存留時間短(ALT=0.77年)。 Novec ™ 7200具有較高的沸點(76°C),可減少在氣相去污中,蒸氣的損失。較低密度可減少在潤滑機臺上容積固定時的添加量。
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