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NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快表面三維微觀形貌測(cè)量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有蕞直接的影響,而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較權(quán)面的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富,通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種,其中以非接觸式測(cè)量方法為主。共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。材料表面輪廓儀可以試用嗎
輪廓儀的自動(dòng)拼接功能:條件:被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,使用自動(dòng)圖片拼接。需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接,輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來(lái)。軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差,自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差,減小誤差。但是誤差是一定存在的。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。3D形貌輪廓儀可以免稅嗎NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線(xiàn)夾角、直線(xiàn)與Y軸夾角、直線(xiàn)與X軸夾角點(diǎn)線(xiàn)處理:兩直線(xiàn)交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線(xiàn)距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線(xiàn)的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線(xiàn)到切點(diǎn)的距離線(xiàn)處理:直線(xiàn)度、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線(xiàn)。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī)、光刻機(jī)、輪廓儀,隔振臺(tái)等設(shè)備。白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供權(quán)面的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),可輕松獲取被測(cè)物件精確的線(xiàn)粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)各項(xiàng)2D,3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí),依然能夠保持高重復(fù)性,高穩(wěn)定性的運(yùn)行,其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。測(cè)量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。自動(dòng)測(cè)量輪廓儀特點(diǎn)
由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。材料表面輪廓儀可以試用嗎
NanoX-系列輪廓儀代表性客戶(hù)?集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)–集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導(dǎo)體,華潤(rùn)安盛等?MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,中國(guó)臺(tái)灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mmXY運(yùn)動(dòng)速度**快如果有什么問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系我們。材料表面輪廓儀可以試用嗎
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家從事半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及售后的貿(mào)易型企業(yè)。公司坐落在金高路2216弄35號(hào)6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司通過(guò)創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶(hù)滿(mǎn)意為重要標(biāo)準(zhǔn)。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來(lái)越廣。目前主要經(jīng)營(yíng)有半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x等產(chǎn)品,并多次以?xún)x器儀表行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶(hù)需求定制多款多元化的產(chǎn)品。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司每年將部分收入投入到半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作中,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動(dòng)作用。公司在長(zhǎng)期的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)中形成了一套完善的科技激勵(lì)政策,以激勵(lì)在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進(jìn)等。半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品滿(mǎn)足客戶(hù)多方面的使用要求,讓客戶(hù)買(mǎi)的放心,用的稱(chēng)心,產(chǎn)品定位以經(jīng)濟(jì)實(shí)用為重心,公司真誠(chéng)期待與您合作,相信有了您的支持我們會(huì)以昂揚(yáng)的姿態(tài)不斷前進(jìn)、進(jìn)步。