輪廓儀產(chǎn)品概述:NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ;重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺階高)。湖北輪廓儀技術(shù)支持
輪廓儀能夠描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位。安徽輪廓儀輪廓測量應(yīng)用輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng)。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求來選擇配對應(yīng)的鏡頭。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)合理的產(chǎn)品價格24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò))幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。芯片輪廓儀用途是什么
LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。湖北輪廓儀技術(shù)支持
1.3.培訓(xùn)計劃在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個權(quán)面的認(rèn)識。在整個系統(tǒng)驗(yàn)收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。1.4.培訓(xùn)形式公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn);向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng);對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答;湖北輪廓儀技術(shù)支持
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司秉承著技術(shù)研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國內(nèi)半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀的產(chǎn)品發(fā)展添磚加瓦。公司主要經(jīng)營半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀等產(chǎn)品,產(chǎn)品質(zhì)量可靠,均通過儀器儀表行業(yè)檢測,嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用與全國30多個省、市、自治區(qū)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷緊跟半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀行業(yè)發(fā)展趨勢,研發(fā)與改進(jìn)新的產(chǎn)品,從而保證公司在新技術(shù)研發(fā)方面不斷提升,確保公司產(chǎn)品符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測量儀產(chǎn)品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產(chǎn)品定位以經(jīng)濟(jì)實(shí)用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚(yáng)的姿態(tài)不斷前進(jìn)、進(jìn)步。