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CSI輪廓儀有哪些品牌

來源: 發(fā)布時間:2024-12-13

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。CSI輪廓儀有哪些品牌

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表面三維微觀形貌測量的意義在于,在生產(chǎn)中表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通常可分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。CSI輪廓儀有哪些品牌輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。

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1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多珍孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),但是在共焦圖像中,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)高精密材料表面缺陷超精密表面缺陷分析,核探測Oled特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度外延片表面缺陷檢測硅片外延表面缺陷檢測散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件微結(jié)構(gòu)均勻性缺陷,表面粗糙度移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā)本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲。

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表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。我們的表面三位微觀形貌的此類方法非常豐富,通常分為接觸時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。CSI輪廓儀有哪些品牌

輪廓儀可以用于測量產(chǎn)品的尺寸、形狀和曲率,以確保產(chǎn)品符合設(shè)計要求。CSI輪廓儀有哪些品牌

蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範圍-100 %電腦要求機械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件:urionNano30主動式防震臺4微米,2微米,和100納米多臺階高度標準。CSI輪廓儀有哪些品牌