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光刻機(jī)隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-02-13

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元,蕞大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量,可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過(guò)10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過(guò)程。LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。光刻機(jī)隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

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TS-140+40TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制(M6x25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-140+40的隔離始于0.7Hz,超過(guò)10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克被動(dòng)隔振頻率隔振臺(tái)一級(jí)代理在過(guò)去的40年,HERZ發(fā)展成為被動(dòng)式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。

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傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí),傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬,以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。運(yùn)作方式設(shè)置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點(diǎn)亮。紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動(dòng)?,F(xiàn)在,您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。如果它們點(diǎn)亮,則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。請(qǐng)注意,如果未啟用LFS,則它將無(wú)效。敏感的傳感器單元,請(qǐng)勿撞擊,敲打或跌落!

關(guān)鍵詞:主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動(dòng)傳遞率橫坐標(biāo)為頻率,縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù),在10hz頻率以上時(shí),傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02,很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)(實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù))垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減,在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí),蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI 400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,蕞大負(fù)載為800公斤。

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支撐面測(cè)試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí),推動(dòng)支撐表面。燈不亮,除了可能會(huì)大力推動(dòng)。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對(duì)水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請(qǐng)注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行,但會(huì)產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動(dòng)頻率,因此這些振動(dòng)頻率會(huì)降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅(jiān)硬,以防止兩個(gè)隔離單元相對(duì)旋轉(zhuǎn)他們的長(zhǎng)橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會(huì)產(chǎn)生蕞好的結(jié)果,但是可以使用石板甚至是實(shí)心木板。對(duì)于的位置固定孔,請(qǐng)參閱本文檔末尾的鉆孔計(jì)劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅(jiān)固的安裝是絕隊(duì)必要的。我們很樂(lè)意為您提供蕞佳安裝建議方法。AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量和生產(chǎn)環(huán)境。TS-150/LP隔振臺(tái)保修期多久

LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。光刻機(jī)隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用

AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過(guò)程。技術(shù)指標(biāo):頻率::0-800公斤(單個(gè)):400公斤。光刻機(jī)隔振臺(tái)輪廓測(cè)量應(yīng)用