半導體晶圓搬運設備是指通過機器自動搬運，將晶圓從工序A的晶圓盒子或容器中移動道工序B的晶圓盒子或容器中。在這個過程中，晶圓儲片盒或容器中的晶圓被高速地、清潔地搬運和處理。狹義來說，半導體晶圓搬運設備只指單一半導體自動搬運機器，廣義來說半導體搬運設備應當為半導體自動物料搬運系統(tǒng)。半導體晶圓廠按功能不同可分為兩種型態(tài)，一為晶圓代工(Foundry Fab)，其生產(chǎn)策略為客戶下單后按其交貨期來投片。另一為單一產(chǎn)品如DRAM、SRAM廠，生產(chǎn)策略為大量投片，大量產(chǎn)出。不論是哪種晶圓生產(chǎn)廠，其晶圓生產(chǎn)的流程和生產(chǎn)區(qū)域部件基本一致。這些流程經(jīng)過不斷重復加工，直至完成產(chǎn)品，在經(jīng)過電性測試合格后，出貨給下游客戶。在重復的過程中，各個環(huán)節(jié)之間晶圓運輸?shù)母咝Ш蜐崈魧Τ善返钠焚|(zhì)影響巨大。設備搬運要根據(jù)設備的重心位置合理安排著力點。云南醫(yī)療器械設備搬運公司

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