陶瓷真空吸盤的吸附性能隨孔徑的變化而變化。對于超微孔陶瓷和超微孔陶瓷,孔徑是分子直徑的幾倍。在吸附過程中,孔壁圍繞著被吸附的分子,孔中的范德華力非常強(qiáng);對于中孔和大孔,孔徑比吸附分子的直徑大10倍以上,并且發(fā)生典型的毛細(xì)管冷凝。根據(jù)孔隙的形狀,有時會出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。為了正確分析材料孔隙體積和孔徑,需要對材料孔隙結(jié)構(gòu)有清楚的了解,選擇正確的預(yù)處理方法(溫度、大氣、真空等)和適當(dāng)?shù)姆治瞿P停缓螳@得準(zhǔn)確科學(xué)的實驗結(jié)果。由于其特殊的結(jié)構(gòu),對多孔陶瓷材料具有高比表面積、高孔隙率、高吸附性等許多優(yōu)異的物理化學(xué)性能,普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域。氣體吸附是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)的重要方法之一。陶瓷吸盤比較早是用來在平面磨床中夾持非金屬工具的。天津氧化鋁陶瓷吸盤廠商
陶瓷吸盤能夠用于:熱(高溫)氣體過濾。高溫除塵技術(shù)是能源利用和環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域達(dá)到能源高效利用及低污染排放的一項主要技術(shù)。高溫氣體干法除塵技術(shù)要求直接在高溫條件下實現(xiàn)氣體的干法除塵和凈化,以比較大程度地利用氣體的物理顯熱,提高能源利用率,在實現(xiàn)氣體潔凈排放的同時節(jié)約水資源,并避免濕法除塵所帶來的二次水污染。干法除塵技術(shù)概況:根據(jù)除塵機(jī)理,高溫氣體干法除塵技術(shù)大致可分為慣性除塵、靜電除塵及過濾式除塵。慣性除塵器耐高溫,但除塵效率較低;靜電除塵器雖適用于高溫氣體除塵,但電極壽命短,材料穩(wěn)定性差,除塵效率受粉塵的比電阻影響大;普通纖維袋式過濾除塵器盡管除塵效率高,但耐高溫性較差。武漢多孔陶瓷吸盤價格陶瓷吸盤是用真空技術(shù)吸附其他東西的,若是有裂痕,可能會導(dǎo)致空氣灌入其中,無法做到真空吸附。
陶瓷真空吸盤的吸附性能,因孔直徑而異,對于超微孔陶瓷和極微孔,孔徑是分子直徑的幾倍,在吸附時,孔壁包圍吸附分子,孔內(nèi)范德華力非常強(qiáng);對于中孔和大孔,孔徑比吸附分子直徑大10倍以上,發(fā)生典型的毛細(xì)管凝聚。根據(jù)孔的形狀,有時還會出現(xiàn)吸附滯后等一系列現(xiàn)象。為了正確地分析出材料孔容孔徑,就需要對材料孔結(jié)構(gòu)有著清楚的認(rèn)識,選擇正確的預(yù)處理方式(溫度、氛圍、真空度等)及合適的分析模型,進(jìn)而得到準(zhǔn)確科學(xué)的實驗結(jié)果。陶瓷對于多孔陶瓷材料由于其特殊的結(jié)構(gòu),使其具有高比表面積,高孔隙率,高吸附性等諸多優(yōu)異的理化性能,因而在半導(dǎo)體、化工、環(huán)保、功能材料等領(lǐng)域均有普遍應(yīng)用,氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)特性比較重要的方法之一。
陶瓷吸盤比較早是用來在平面磨床中夾持非金屬工具的,這種陶瓷吸盤由中間的多孔陶瓷和邊緣的密封環(huán)組成。工作時利用多孔陶瓷上小孔將晶圓與陶瓷表面之間的空氣抽出,晶圓由于負(fù)壓被吸附在吸盤表面,從而固定。等到加工結(jié)束后,內(nèi)部的等離子水會從陶瓷表面孔內(nèi)流出,使晶圓較好的剝離且同時清洗表面。雖然陶瓷吸盤在精密磨削加工中應(yīng)用普遍,但這種方法明顯的缺陷是,當(dāng)晶圓被陶瓷吸盤吸附在吸盤表面時,晶圓會由于空氣壓力或者有微小顆粒吸入使局部變形,從而影響表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圓的一些加工步驟需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,而陶瓷吸盤在真空環(huán)境下則完全無法工作,這種情況下只能選擇其他的夾持方式來固定晶圓。陶瓷吸盤的基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
加工陶瓷吸盤要注意什么?陶瓷吸盤因為其硬度高、耐磨、耐腐蝕等諸多優(yōu)良特性,在各領(lǐng)域中得到了普遍使用。隨著技術(shù)發(fā)展,各種新型特種陶瓷也漸漸進(jìn)入大家的視野,現(xiàn)在特種陶瓷已成為良好的結(jié)構(gòu)材料和功能材料。它們具有比傳統(tǒng)陶瓷更高的耐溫性能,力學(xué)性能,特殊的電性能和優(yōu)異的耐化學(xué)性能。而陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。氧化鋯陶瓷是一種新型高技術(shù)陶瓷,除了有強(qiáng)度高的、硬度、耐高溫、耐酸堿腐蝕及高化學(xué)穩(wěn)定性等性質(zhì),同時還具有抗刮耐磨、散熱性能優(yōu)良等特點,這一系列的特點,導(dǎo)致其在加工過程中難度直線上升。氧化鋯陶瓷的硬度可以說是只次于金剛石,所以不能用加工普通金屬的方法去加工氧化鋯陶瓷。瓷吸盤由中間的多孔陶瓷和邊緣的密封環(huán)組成。西安精密陶瓷吸盤報價
多孔陶瓷真空吸盤是薄膜工藝的好選擇。天津氧化鋁陶瓷吸盤廠商
良好的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點:①潔凈度:避免硅片在加工的過程中被Na+、Al+等雜質(zhì)污染;②通透性強(qiáng):均勻透氣和透水,保證了硅片的均勻受力和牢固吸附,在磨削過程中不滑動;③結(jié)構(gòu)致密均勻:不易吸附硅粉磨屑,吸盤易于清洗;④強(qiáng)度高:在磨削時無形變,保證硅片在磨削時各點受力均勻,不易產(chǎn)生崩邊、碎片等現(xiàn)象;⑤易于修整:修整時不會出現(xiàn)破裂、碎塊、脫粒等現(xiàn)象;⑥絕緣性高:絕緣性材質(zhì),消除靜電。陶瓷吸盤的耐用性也是很重要的考慮因素。天津氧化鋁陶瓷吸盤廠商
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