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重慶精密陶瓷吸盤銷售價格

來源: 發(fā)布時間:2023-02-13

在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導(dǎo)體晶圓,此項工藝作業(yè)時會將鍵合粘結(jié)劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機粘結(jié)劑雜質(zhì)在溫度120℃時處于完全液態(tài),易被吸附進多孔吸盤的孔洞內(nèi),而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機粘結(jié)劑在加熱狀態(tài)下液化,受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內(nèi),金屬顆粒會在此加熱狀態(tài)下進行一定程度延展拉伸式的合金化,合金化金屬結(jié)合力會增強,從而造成有機粘結(jié)劑在多孔吸盤的孔洞內(nèi)和表面存在,合金化金屬覆蓋在有機粘結(jié)劑表面并將有機粘結(jié)劑進行包裹。陶瓷吸盤的吸附力分布均勻,性能高,質(zhì)量好比較適用于薄膜。重慶精密陶瓷吸盤銷售價格

陶瓷吸盤的優(yōu)點:防止吸收軌跡:毛孔的均勻分布(孔隙度為40%左右)和微小的孔徑大小,使物體上的吸收孔徑?jīng)]有痕跡,這是不可避免的與現(xiàn)有的鋁真空夾頭。因此,多孔陶瓷真空夾頭是薄膜工藝的好選擇。均勻吸收:毛孔均勻地分布在夾頭的整個表面上,使物體的整個部分能夠以相等的壓力被吸收。尤其對扭曲膜的吸收非常有利??轨o電:由于靜電的突出傳播特點,靜電得到有效消除。多孔陶瓷產(chǎn)品保持其表面電阻10×6±10×9 ×cm2,具有逐漸消除制造過程中物體所承擔(dān)的靜電的效果。防止劃痕:出色的表面粗糙度使物體上沒有劃痕。毛孔的均勻分布和加工技術(shù)使產(chǎn)品表面如此光滑,可防止薄膜、玻璃等物體表面出現(xiàn)劃痕。上海氧化鋁陶瓷吸盤現(xiàn)價傳統(tǒng)的陶瓷吸盤都是一體式結(jié)構(gòu),直接安裝在工作臺上。

微孔陶瓷吸盤在防腐蝕,抗氧化,抗冷熱沖擊這幾方面擁有的優(yōu)勢:微孔陶瓷吸盤的熱容量小,它本身不蓄熱,可以直接散熱,微孔陶瓷吸盤不會像金屬散熱片一樣形成“熱 階梯”,影響它的散熱性能。微孔陶瓷吸盤比較大的特點,它本身就是微孔洞的結(jié)構(gòu),這種工件增加了與空氣接觸的面積,可以大幅度增強它的散熱性效果,同比條件下,微孔陶瓷材料的散熱效果比超銅、鋁,密閉環(huán)境下,主動輻射散熱能力8.8倍與金屬材料,散熱優(yōu)勢更加明顯。微孔陶瓷吸盤本身具備有絕緣、耐高溫、抗氧化、耐酸堿、耐冷熱沖擊、熱膨脹系數(shù)低,從而還保證了在高低溫環(huán)境或者其他惡劣環(huán)境下陶瓷散熱片的穩(wěn)定性。

陶瓷吸盤材料的車削加工車削加工主要是用金剛石刀具切削高硬度、高耐磨性的陶瓷吸盤材料。多晶金剛石刀具難以產(chǎn)生光滑的切削刃,一般只用于粗加工;對陶瓷吸盤材料精車削時,或者混合類的液體的時候,如果使用傳統(tǒng)的鐵濾或金屬過濾,就會對過濾器皿產(chǎn)生一定程度的腐蝕,浪費過濾的元件。眾所周知,陶瓷是比較耐高溫的,微孔陶瓷也不例外,可用于急冷急熱的工作環(huán)境,然后雖然微孔陶瓷很精致美觀,應(yīng)將泵全部拆開檢查陶瓷真空吸盤。陶瓷吸盤是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺。

陶瓷吸盤的選型事項:被搬運工件的質(zhì)量:決定吸盤的大小和數(shù)量;被搬運工件的形狀和表面狀態(tài):選定吸盤的種類;被搬運工件的工作環(huán)境(溫度):選擇吸盤的材質(zhì);被搬運工件的表面高低:確定緩沖距離;吸盤基本連接接方式:吸盤、吸盤座、吸盤桿、彈簧、滑套、彈簧。陶瓷吸盤直徑雖表示吸盤的外徑,但利用真空壓力吸附物體時,因真空壓會使橡膠變形,吸附面積也會隨之縮小。就搬運技術(shù)而言,采用低真空即可滿足要求。對于搬運金屬與塑料等具有氣密性表面的材料,真空度通常在50000~80000Pa之間,若采用高于100Pa的中高真空則不甚經(jīng)濟。陶瓷吸盤在高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性。安徽碳化硅多孔陶瓷吸盤現(xiàn)貨

微孔陶瓷吸盤可以和國內(nèi)外主流設(shè)備配套使用,具有優(yōu)越的性能。重慶精密陶瓷吸盤銷售價格

陶瓷吸盤比較早是用來在平面磨床中夾持非金屬工具的,這種陶瓷吸盤由中間的多孔陶瓷和邊緣的密封環(huán)組成。工作時利用多孔陶瓷上小孔將晶圓與陶瓷表面之間的空氣抽出,晶圓由于負(fù)壓被吸附在吸盤表面,從而固定。等到加工結(jié)束后,內(nèi)部的等離子水會從陶瓷表面孔內(nèi)流出,使晶圓較好的剝離且同時清洗表面。雖然陶瓷吸盤在精密磨削加工中應(yīng)用普遍,但這種方法明顯的缺陷是,當(dāng)晶圓被陶瓷吸盤吸附在吸盤表面時,晶圓會由于空氣壓力或者有微小顆粒吸入使局部變形,從而影響表面平整度,使加工精度下降。另外,晶圓的一些加工步驟需要在真空環(huán)境下進行,而陶瓷吸盤在真空環(huán)境下則完全無法工作,這種情況下只能選擇其他的夾持方式來固定晶圓。重慶精密陶瓷吸盤銷售價格

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