利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。在測量軟件WAVE的FFT圖中，實時顯示位移數(shù)據(jù)，可快速簡便地進行頻譜分析，以識別共振頻率。北京激光干涉儀色散共焦

測控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域

在基礎(chǔ)研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預(yù)測的。但是，當已經(jīng)取得突破性進展時，則需要有一個轉(zhuǎn)化機制以進入市場。

（1）納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統(tǒng)。

關(guān)鍵理論和技術(shù)：超半球反射器(n=2或在機構(gòu)上創(chuàng)新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(tǒng)(0.2″～0.5″)，通用信號處理系統(tǒng)(工作頻率5兆)，無導軌半導體激光測量系統(tǒng)(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 山東激光干涉儀彩色共焦技術(shù)測試齒條齒輪傳動系統(tǒng)中，行星齒輪機械參數(shù)的長期穩(wěn)定性。

干涉儀主要特點

1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性5.全套系統(tǒng)重量只15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有g(shù)ao qiang度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

升降變差

1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過表的規(guī)定。

2 測定升降變差時，應(yīng)在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩(wěn)地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數(shù)；然后再從另一個方向平穩(wěn)地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數(shù)，標準表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時應(yīng)維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應(yīng)遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調(diào)，可與測定基本誤差一同進行。 3軸：測量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運動yaw。

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。山東激光干涉儀彩色共焦技術(shù)

在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。北京激光干涉儀色散共焦

(6)半導體激光器計量特性的研究和創(chuàng)新。半導體激光器用于計量需要解決很多問題(如線寬、定標、變頻等)。但如果解決了諸多問題以后，半導體激光系統(tǒng)比氣體激光系統(tǒng)更復(fù)雜，就不會有競爭力。有些問題在物理層面上也沒有完全解決。例如半導體激光器如果能形成雙頻，無疑是一種十分重要的特性，如果既能掃頻又有兩個相近的頻率掃描，就會成為一種新的無導軌測量工具。本專業(yè)培養(yǎng)具備精密儀器設(shè)計制造以及測量與控制方面基礎(chǔ)知識與應(yīng)用能力，能在國民經(jīng)濟各部門從事測量與控制領(lǐng)域內(nèi)有關(guān)技術(shù)、儀器與系統(tǒng)的設(shè)計制造、科技開發(fā)、應(yīng)用研究、運行管理等方面的高級工程技術(shù)人才。北京激光干涉儀色散共焦