電壓影響

1 當電壓自額定值偏離±10%(對比率表和由化學電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對整流系儀表和鉗形表)或±20%(對其它儀表)時，由此引起儀表指示值的改變應不超過規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內附手搖發(fā)電機作供電電源的兆歐表，當其電壓自額定值偏離±10%時，指示值改變應不超過表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點進行，整步表在同步點進行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內的任一電壓下，儀表基本誤差應不超過規(guī)定值。

2 檢驗電壓影響時應遵守有關規(guī)定(對電壓的規(guī)定除外)，且應除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗相位表和功率因數(shù)表時，在額定電流下進行；檢驗功率表時在額定功率因數(shù)下進行。 角度和迴轉測量，檢測軸承間隙。3D激光干涉儀厚度測量

多抽頭電流互感器。這種型號的電流互感器，一次繞組不變，在繞制二次繞組時，增加幾個抽頭，以獲得多個不同變比。它具有一個鐵心和一個匝數(shù)固定的一次繞組，其二次繞組用絕緣銅線繞在套裝于鐵心上的絕緣筒上，將不同變比的二次繞組抽頭引出，接在接線端子座上，每個抽頭設置各自的接線端子，這樣就形成了多個變比，此種電流互感器的優(yōu)點是可以根據(jù)負荷電流變比，調換二次接線端子的接線來改變變比，而不需要更換電流互感器，給使用提供了方便。福建激光干涉儀彩色共焦技術在環(huán)境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。

干涉儀應用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。使用干涉測量法進行旋轉運動誤差補償。

結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產(chǎn)生的交變磁通感應產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當于一個短路運行的變壓器。Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機械指向穩(wěn)定性的鏡架。白云區(qū)3D激光干涉儀

皮 米 精 度 位 移 傳 感 器。3D激光干涉儀厚度測量

高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應的激光穩(wěn)頻精度應該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領，其原因是后者的速度達到了1m/sec。 3D激光干涉儀厚度測量