利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。超長距離測(cè)量，齒輪傳動(dòng)間隙測(cè)量。翹曲度激光干涉儀色散共焦

薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片

這種應(yīng)變片是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍(lán)寶石上制成的。它通過改變真空沉積時(shí)襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低，從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補(bǔ)償薄膜應(yīng)變片。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變片吸收了金屬應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片的優(yōu)點(diǎn)，并避免了它的缺點(diǎn)，是一種較理想的應(yīng)變片。

外延型半導(dǎo)體應(yīng)變片

這種應(yīng)變片是在多晶硅或藍(lán)寶石的襯底上外延一層單晶硅而制成的。它的優(yōu)點(diǎn)是取消了P-N結(jié)隔離，使工作溫度大為提高(可達(dá)300℃以上)。 廣州激光干涉儀膨脹計(jì)：熱膨脹和磁致伸縮測(cè)量。

工作原理：在供電用電的線路中，電流相差從幾安到幾萬安，電壓相差從幾伏到幾百萬伏。線路中電流電壓都比較高，如直接測(cè)量是非常危險(xiǎn)的。為便于二次儀表測(cè)量需要轉(zhuǎn)換為比較統(tǒng)一的電流電壓，使用互感器起到變流變壓和電氣隔離的作用。顯示儀表大部分是指針式的電流電壓表，所以電流互感器的二次電流大多數(shù)是安培級(jí)的。隨著時(shí)代發(fā)展，電量測(cè)量大多已經(jīng)達(dá)到數(shù)字化，而計(jì)算機(jī)的采樣的信號(hào)一般為毫安級(jí)（0-5V、4-20mA等）。微型電流互感器二次電流為毫安級(jí)，主要起大互感器與采樣之間的橋梁作用。

體型半導(dǎo)體應(yīng)變片這種半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導(dǎo)體應(yīng)變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應(yīng)力測(cè)量；②溫度自動(dòng)補(bǔ)償型：它能使溫度引起的導(dǎo)致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動(dòng)抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補(bǔ)償型：通過選擇適當(dāng)?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極?。虎芨咻敵觯ǜ唠娮瑁┬停核淖柚岛芨撸?～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域，適用于大應(yīng)變范圍的場合；⑥P-N組合溫度補(bǔ)償型：它選用配對(duì)的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。振動(dòng)分析有助于檢測(cè)共振頻率。

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床:雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。3軸：測(cè)量不穩(wěn)定的俯仰pitch和偏航運(yùn)動(dòng)yaw。浦東新區(qū)高精度激光干涉儀

晶圓表面測(cè)量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測(cè)量。翹曲度激光干涉儀色散共焦

光束里的光子所擁有的能量與光的頻率成正比。假若金屬里的自由電子吸收了一個(gè)光子的能量，而這能量大于或等于某個(gè)與金屬相關(guān)的能量閾（閥）值（稱為這種金屬的逸出功），則此電子因?yàn)閾碛辛俗銐虻哪芰?，?huì)從金屬中逃逸出來，成為光電子；若能量不足，則電子會(huì)釋出能量，能量重新成為光子離開，電子能量恢復(fù)到吸收之前，無法逃逸離開金屬。增加光束的輻照度會(huì)增加光束里光子的“密度”，在同一段時(shí)間內(nèi)激發(fā)更多的電子，但不會(huì)使得每一個(gè)受激發(fā)的電子因吸收更多的光子而獲得更多的能量。換言之，光電子的能量與輻照度無關(guān)，只與光子的能量、頻率有關(guān)。翹曲度激光干涉儀色散共焦