干涉儀注意事項(xiàng)

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。 晶圓表面測量可以在各種各樣的目標(biāo)上進(jìn)行測量。高精度激光干涉儀色散共焦

檢驗(yàn)周期規(guī)定

A.控制盤和配電盤儀表的定期檢驗(yàn)應(yīng)與該儀表所連接的主要設(shè)備的大修日期一致，不應(yīng)延誤。但主要設(shè)備主要線路的儀表應(yīng)每年檢驗(yàn)一次，其它盤的儀表每四年至少檢驗(yàn)一次；

B.對(duì)運(yùn)行中設(shè)備的控制盤儀表的指示發(fā)生疑問時(shí)，可用標(biāo)準(zhǔn)儀表在其工作點(diǎn)上用比較法進(jìn)行核對(duì)；

C.可攜式儀表(包括臺(tái)表)的檢驗(yàn)，每年至少一次，常用的儀表每半年至少一次。經(jīng)兩次以上檢驗(yàn)，證明質(zhì)量好的儀表，可以延長檢驗(yàn)期一倍。D.萬用電表、鉗形表每四年至少檢驗(yàn)一次。兆歐表和接地電阻測定器每二年至少檢驗(yàn)一次，但用于高壓電路使用的鉗形表和作吸收比用的兆歐表每年至少檢驗(yàn)一次。 白云區(qū)激光干涉儀位移以太網(wǎng)Web界面（工業(yè)4.0）。

干涉儀是根據(jù)光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(xué)(Thompson et al,2001)，光學(xué)，工程測量，海洋學(xué)，地震學(xué)，波譜分析，量子物理實(shí)驗(yàn)，遙感，雷達(dá)等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用（Hariharan，2007）。根據(jù)光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。

升降變差

1 能耐受機(jī)械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進(jìn)行檢驗(yàn)的電磁系和鐵磁電動(dòng)系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過表的規(guī)定。

2 測定升降變差時(shí)，應(yīng)在極性不變(當(dāng)用直流檢驗(yàn)時(shí))和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺某一個(gè)分度線，讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)；然后再從另一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺的同一個(gè)分度線，再次讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時(shí)應(yīng)維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時(shí)應(yīng)遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調(diào)，可與測定基本誤差一同進(jìn)行。 不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。

高靈敏，高分辨，小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。

標(biāo)準(zhǔn)化。通訊接口過去常用GPIB，RS232，目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI?，F(xiàn)在，技術(shù)前面者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。

配合數(shù)控設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新(如主軸速度，精度創(chuàng)成)

數(shù)控設(shè)備的主要誤差來源可分為幾何誤差（共有21項(xiàng)）和熱誤差。對(duì)于重復(fù)出現(xiàn)的系統(tǒng)誤差，可采用軟件修正；對(duì)于隨機(jī)誤差較大的情況，要采用實(shí)時(shí)修正方法。對(duì)于熱誤差，一般要通過溫度測量進(jìn)行修正。 用AquadB數(shù)據(jù)輸出測量。山東皮米精度激光干涉儀

軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。高精度激光干涉儀色散共焦

單頻激光干涉儀:從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。高精度激光干涉儀色散共焦