(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷，非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟，我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進(jìn)展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。

(5)新器件，新材料。過(guò)去，科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達(dá)10的14次方，目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻，干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高，對(duì)于通訊也是很大的突破。 擺動(dòng)，θx（Φ）和θy（Φ），它是通過(guò)組合兩個(gè)XY-跳動(dòng)誤差水平計(jì)算出來(lái)的。 其中Φ是圍繞Z軸的樣本旋轉(zhuǎn)。段差激光干涉儀多層厚度測(cè)量

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng),激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。珠海激光干涉儀共焦技術(shù)環(huán)境補(bǔ)償模塊（ECU）。

互感器：

電流互感器和電壓互感器的統(tǒng)稱。

互感器又稱為儀用變壓器，是電流互感器和電壓互感器的統(tǒng)稱。能將高電壓變成低電壓、大電流變成小電流，用于量測(cè)或保護(hù)系統(tǒng)。其功能主要是將高電壓或大電流按比例變換成標(biāo)準(zhǔn)低電壓（100V）或標(biāo)準(zhǔn)小電流（5A或1A，均指額定值），以便實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)x表、保護(hù)設(shè)備及自動(dòng)控制設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)化、小型化。同時(shí)互感器還可用來(lái)隔開(kāi)高電壓系統(tǒng)，以保證人身和設(shè)備的安全。

微型電流互感器一次繞組電流I1與二次繞組I2的電流比，叫實(shí)際電流比K。微型電流互感器在額定工作電流下工作時(shí)的電流比叫電流互感器額定電流比，用Kn表示。Kn=I1n/I2n

(4)計(jì)算機(jī)輔助測(cè)量理論。信號(hào)處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數(shù)采用ISA總線、IEEE488口，今后計(jì)算機(jī)可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應(yīng)用。過(guò)去，中國(guó)生產(chǎn)的儀器滿足于數(shù)字顯示，沒(méi)有數(shù)據(jù)交換接口，難以進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)。國(guó)外生產(chǎn)的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI。在此轉(zhuǎn)折期為我們提供了機(jī)遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數(shù)量級(jí)，對(duì)于干涉信號(hào)處理顯得太低，可以采取聯(lián)合互補(bǔ)的方法形成模塊系列，同時(shí)降低成本，從總體上提高研發(fā)工作的效率。根據(jù)已有基礎(chǔ)，發(fā)展特長(zhǎng)，有利于克服重復(fù)研究。IDS與各種目標(biāo)和目標(biāo)材料兼容。

電壓影響

1 當(dāng)電壓自額定值偏離±10%(對(duì)比率表和由化學(xué)電源和交流電網(wǎng)作供電電源的兆歐表)、±15%(對(duì)整流系儀表和鉗形表)或±20%(對(duì)其它儀表)時(shí)，由此引起儀表指示值的改變應(yīng)不超過(guò)規(guī)定值。儀表輔助電路用電源、由內(nèi)附手搖發(fā)電機(jī)作供電電源的兆歐表，當(dāng)其電壓自額定值偏離±10%時(shí)，指示值改變應(yīng)不超過(guò)表7 規(guī)定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗(yàn)在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)進(jìn)行，整步表在同步點(diǎn)進(jìn)行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內(nèi)的任一電壓下，儀表基本誤差應(yīng)不超過(guò)規(guī)定值。

2 檢驗(yàn)電壓影響時(shí)應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對(duì)電壓的規(guī)定除外)，且應(yīng)除去變差影響(可輕敲表殼)。檢驗(yàn)相位表和功率因數(shù)表時(shí)，在額定電流下進(jìn)行；檢驗(yàn)功率表時(shí)在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 測(cè)試齒條齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)中，行星齒輪機(jī)械參數(shù)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。珠海平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀

探頭安裝 在線性導(dǎo)軌上，在一個(gè)軸上移動(dòng)探頭，而線性導(dǎo)軌則集成在一個(gè)橋中。段差激光干涉儀多層厚度測(cè)量

互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測(cè)量等。電流互感器可用在交換電流的測(cè)量、交換電度的測(cè)量和電力拖動(dòng)線路中的保護(hù)。

電壓互感器

按用途分

測(cè)量用電壓互感器或電壓互感器的測(cè)量繞組：在正常電壓范圍內(nèi)，向測(cè)量、計(jì)量裝置提供電網(wǎng)電壓信息；保護(hù)用電壓互感器或電壓互感器的保護(hù)繞組：在電網(wǎng)故障狀態(tài)下，向繼電保護(hù)等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。

按絕緣介質(zhì)分

干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級(jí)；澆注絕緣電壓互感器：由環(huán)氧樹(shù)脂或其他樹(shù)脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級(jí)；油浸式電壓互感器：由絕緣紙和絕緣油作為絕緣，是我國(guó)較為常見(jiàn)的結(jié)構(gòu)型式，常用于及以下電壓等級(jí)；氣體絕緣電壓互感器：由氣體作主絕緣，多用在較高電壓等級(jí)。通常只提供測(cè)量用的低電壓互感器是干式，高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器，35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。 段差激光干涉儀多層厚度測(cè)量