引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯(lián)科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。三軸機床和坐標測量機的21種可能運動誤差的校準，復雜 且實惠。激光干涉儀高精度測量

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發(fā)射后的動能。逸出功 W 是從金屬表面發(fā)射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉(zhuǎn)換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關(guān)系為其中，h是普朗克常數(shù)， W是光頻率為的光子的能量?？朔莩龉χ螅怆娮拥谋容^大動能  為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應(yīng)才能發(fā)生。上海皮米精度激光干涉儀激光電流以高頻調(diào)幅（~MHz）。

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

干涉儀主要特點

1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2.設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3.可選的無線遙控傳感器極長的控制距離可到25米4.可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性5.全套系統(tǒng)重量只15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性等。8、激光干涉儀的光源——激光，具有g(shù)ao qiang度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。 檢測電機的軸承誤差。

精密機械技術(shù)

?？拼髮W的專業(yè)課程

精密機械技術(shù)是一個大學專業(yè)課程，培養(yǎng)掌握精密機械與儀器的基礎(chǔ)理論和專業(yè)知識，事精密儀器與機械的設(shè)計制造，以及設(shè)備的測量控制和維護管理的高級技術(shù)應(yīng)用性專門人才。

中樞能力：精密機械設(shè)計制造、信息處理、測量和控制的技能。

專業(yè)中樞課程與主要實踐環(huán)節(jié)：機械設(shè)計基礎(chǔ)、電工與電子學、互換性和技術(shù)測量、微機原理與應(yīng)用、傳感器、信號分析與處理、控制工程基礎(chǔ)、工程光學基礎(chǔ)、精密機械與儀器設(shè)計、精密機械制造工藝學、精密測量與控制、金工實習、電工電子實習、測試與檢測實習、精密機械課程設(shè)計、畢業(yè)實習（設(shè)計）等，以及各校的主要特色課程和實踐環(huán)節(jié)。 傳感頭的緊湊和模塊化設(shè)計，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個工作范圍內(nèi)快速安裝和快速對齊。激光干涉儀外形尺寸測量

晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。激光干涉儀高精度測量

結(jié)構(gòu)原理：普通電流互感器結(jié)構(gòu)原理：電流互感器的結(jié)構(gòu)較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構(gòu)架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數(shù)（N1）較少，直接串聯(lián)于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產(chǎn)生的交變磁通感應(yīng)產(chǎn)生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數(shù)（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯(lián)形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數(shù)，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當于一個短路運行的變壓器。激光干涉儀高精度測量