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天津激光干涉儀色散共焦

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-15

這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案,而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來(lái)的共同點(diǎn)。如采用無(wú)導(dǎo)軌干涉儀,對(duì)跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低;采用二維精密跟蹤測(cè)角系統(tǒng)在1M3測(cè)量范圍內(nèi)可以得到高精度;有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行介入制造和裝配不能等待很長(zhǎng)時(shí)間,力和熱變形的補(bǔ)償是必須的而且需要足夠快,現(xiàn)在的技術(shù)還有相當(dāng)大的差距,所以這些進(jìn)展是關(guān)鍵性的。應(yīng)用范圍:新型并行機(jī)構(gòu)機(jī)床的鑒定,飛機(jī)裝配型架的鑒定,大型設(shè)備安裝,用于生物芯片精密機(jī)器人校準(zhǔn)等。2000轉(zhuǎn)/分時(shí)的總振動(dòng)高于150納米,可能導(dǎo)致電機(jī) 故障。天津激光干涉儀色散共焦

帶抽頭的二次獨(dú)自繞組的不同變比和不同準(zhǔn)確度等級(jí),可以分別應(yīng)用于電能計(jì)量、指示儀表、變送器、繼電保護(hù)等,以滿足各自不同的使用要求。

組合式電流電壓互感器。組合式互感器由電流互感器和電壓互感器組合而成,多安裝于高壓計(jì)量箱、柜,用作計(jì)量電能或用作用電設(shè)備繼電保護(hù)裝置的電源。組合式電流電壓互感器是將兩臺(tái)或三臺(tái)電流互感器的一次、二次繞組及鐵心和電壓互感器的一、二次繞組及鐵心,固定在鋼體構(gòu)架上,浸入裝有變壓器油的箱體內(nèi),其一、二次繞組出線均引出,接在箱體外的高、低壓瓷瓶上,形成絕緣、封閉的整體。一次側(cè)與供電線路連接,二次側(cè)與計(jì)量裝置或繼電保護(hù)裝置連接。 浙江激光干涉儀膠路檢測(cè)樣品和細(xì)胞的擴(kuò)張/收縮 長(zhǎng)度相對(duì)變化(ΔL)。

利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量,從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度,干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距,光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(~10-7米)。所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的,其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無(wú)法比擬的。

測(cè)控技術(shù)與儀器優(yōu)先領(lǐng)域

在基礎(chǔ)研究的初期,對(duì)于能否有突破性進(jìn)展是很難預(yù)測(cè)的。但是,當(dāng)已經(jīng)取得突破性進(jìn)展時(shí),則需要有一個(gè)轉(zhuǎn)化機(jī)制以進(jìn)入市場(chǎng)。

(1)納米溯源技術(shù)和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標(biāo)跟蹤測(cè)量系統(tǒng)。

關(guān)鍵理論和技術(shù):超半球反射器(n=2或在機(jī)構(gòu)上創(chuàng)新),快速、多路干涉儀(頻差3~5兆),二維精密跟蹤測(cè)角系統(tǒng)(0.2″~0.5″),通用信號(hào)處理系統(tǒng)(工作頻率5兆),無(wú)導(dǎo)軌半導(dǎo)體激光測(cè)量系統(tǒng)(分辨率1μm),熱變形仿真,力變形仿真。 定位器的觸發(fā)運(yùn)動(dòng)控制。

波長(zhǎng)的測(cè)量任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn),利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀luo gan 涉儀(標(biāo)準(zhǔn)具)曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(鎘紅譜線波長(zhǎng))和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn),從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。檢驗(yàn)光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來(lái)檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評(píng)估透鏡的波像差。用AquadB數(shù)據(jù)輸出測(cè)量。段差激光干涉儀平面度測(cè)量

提供: 反射器表面誤差,s(Φ)。 XY-跳動(dòng)運(yùn)動(dòng)誤差,εX(Φ)和εy(Φ)。天津激光干涉儀色散共焦

(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求,這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷,非接觸測(cè)頭還沒(méi)有發(fā)展成熟,我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制,難以有突破性進(jìn)展,但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1~0.5μm分辨率。

(5)新器件,新材料。過(guò)去,科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng),忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方,而光頻高達(dá)10的14次方,目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用,適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過(guò)光頻,干涉儀也就沒(méi)有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高,對(duì)于通訊也是很大的突破。 天津激光干涉儀色散共焦

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