外觀檢查規(guī)定

1 表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號：A.儀表名稱或被測之量的標(biāo)志符號；B.型號；C.系別符號；D.準(zhǔn)確度等級；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號；G.制造年月或出廠編號；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號)和分流器額定電壓降值(對低量限電壓表的要求)。

2 儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；

3 從外表看，零部件完整，無松動，無裂縫，無明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無撞擊聲；

4 向左右兩方向旋動機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，左右對稱； 使其可以測量長達(dá)40米的距離。傳感器激光干涉儀金線檢測

這些內(nèi)容不局限于一種技術(shù)方案，而是幾種不同技術(shù)方案中概括出來的共同點(diǎn)。如采用無導(dǎo)軌干涉儀，對跟蹤系統(tǒng)的要求可以降低；采用二維精密跟蹤測角系統(tǒng)在1M3測量范圍內(nèi)可以得到高精度；有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現(xiàn)場進(jìn)行介入制造和裝配不能等待很長時(shí)間，力和熱變形的補(bǔ)償是必須的而且需要足夠快，現(xiàn)在的技術(shù)還有相當(dāng)大的差距，所以這些進(jìn)展是關(guān)鍵性的。應(yīng)用范圍：新型并行機(jī)構(gòu)機(jī)床的鑒定，飛機(jī)裝配型架的鑒定，大型設(shè)備安裝，用于生物芯片精密機(jī)器人校準(zhǔn)等。惠州激光干涉儀厚度測量傳感頭的緊湊和模塊化設(shè)計(jì)，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個(gè)工作范圍內(nèi)快速安裝和快速對齊。

5 指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(0.01L+0.8)MM。其中L 是標(biāo)度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應(yīng)在對稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。

頻率影響

1 當(dāng)頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數(shù)表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時(shí)，由此所引起的儀表指示值的改變應(yīng)不超過表7 中的規(guī)定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內(nèi)的任一頻率下，儀表的基本誤差都應(yīng)不超過規(guī)定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴(kuò)大的頻率范圍時(shí)，則在此范圍內(nèi)的任一頻率下，儀表的基本誤差應(yīng)不超過表7 中規(guī)定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當(dāng)其頻率自額定值偏離±2%時(shí)，由此引起的儀表指示值的改變，應(yīng)不超過表7 規(guī)定值的一半。

2 檢驗(yàn)頻率的影響時(shí)，應(yīng)遵守有關(guān)規(guī)定(對頻率的規(guī)定除外)，且應(yīng)除去變差影響。試驗(yàn)是在標(biāo)度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點(diǎn)分度線上進(jìn)行。相位表在額定電流下進(jìn)行，功率表在額定功率因數(shù)下進(jìn)行。 LineCAL可實(shí)現(xiàn)亞微米精度的空間補(bǔ)償。

光電效應(yīng)分為：外光電效應(yīng)和內(nèi)光電效應(yīng)。內(nèi)光電效應(yīng)是被光激發(fā)所產(chǎn)生的載流子（自由電子或空穴）仍在物質(zhì)內(nèi)部運(yùn)動，使物質(zhì)的電導(dǎo)率發(fā)生變化或產(chǎn)生光生伏特的現(xiàn)象。外光電效應(yīng)是被光激發(fā)產(chǎn)生的電子逸出物質(zhì)表面，形成真空中的電子的現(xiàn)象。外光電效應(yīng)在光的作用下，物體內(nèi)的電子逸出物體表面向外發(fā)射的現(xiàn)象叫做外光電效應(yīng)。外光電效應(yīng)的一些實(shí)驗(yàn)規(guī)律a．只當(dāng)照射物體的光頻率不小于某個(gè)確定值時(shí)，物體才能發(fā)出光電子，這個(gè)頻率叫做極限頻率(或叫做截止頻率)，相應(yīng)的波長λ0叫做極限波長。不同物質(zhì)的極限頻率和相應(yīng)的極限波長 是不同的。電機(jī)振動的非接觸頻率分析。測量激光干涉儀

雖然加速度計(jì)可用于測量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。傳感器激光干涉儀金線檢測

高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 傳感器激光干涉儀金線檢測

上海岱珂機(jī)電設(shè)備有限公司在光譜共焦傳感器，高精度3D測量系統(tǒng)，涂層厚度檢測傳感器，同軸激光位移傳感器一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位，無論是產(chǎn)品還是服務(wù)，其高水平的能力始終貫穿于其中。公司位于上海市奉賢區(qū)泰葉路159弄33號，成立于2011-11-11，迄今已經(jīng)成長為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。公司承擔(dān)并建設(shè)完成儀器儀表多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目，取得了明顯的社會和經(jīng)濟(jì)效益。多年來，已經(jīng)為我國儀器儀表行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。