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佛山納米精度激光干涉儀

來源: 發(fā)布時間:2023-07-16

干涉儀應用:幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較好精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。佛山納米精度激光干涉儀

互感器:

電流互感器和電壓互感器的統(tǒng)稱。

互感器又稱為儀用變壓器,是電流互感器和電壓互感器的統(tǒng)稱。能將高電壓變成低電壓、大電流變成小電流,用于量測或保護系統(tǒng)。其功能主要是將高電壓或大電流按比例變換成標準低電壓(100V)或標準小電流(5A或1A,均指額定值),以便實現(xiàn)測量儀表、保護設備及自動控制設備的標準化、小型化。同時互感器還可用來隔開高電壓系統(tǒng),以保證人身和設備的安全。

微型電流互感器一次繞組電流I1與二次繞組I2的電流比,叫實際電流比K。微型電流互感器在額定工作電流下工作時的電流比叫電流互感器額定電流比,用Kn表示。Kn=I1n/I2n 傳感器激光干涉儀深度測量100pm/步的線性偏移被確定。

測控技術與儀器優(yōu)先領域

在基礎研究的初期,對于能否有突破性進展是很難預測的。但是,當已經(jīng)取得突破性進展時,則需要有一個轉化機制以進入市場。

(1)納米溯源技術和系統(tǒng)。

(2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統(tǒng)。

關鍵理論和技術:超半球反射器(n=2或在機構上創(chuàng)新),快速、多路干涉儀(頻差3~5兆),二維精密跟蹤測角系統(tǒng)(0.2″~0.5″),通用信號處理系統(tǒng)(工作頻率5兆),無導軌半導體激光測量系統(tǒng)(分辨率1μm),熱變形仿真,力變形仿真。

光電效應分為:外光電效應和內(nèi)光電效應。內(nèi)光電效應是被光激發(fā)所產(chǎn)生的載流子(自由電子或空穴)仍在物質內(nèi)部運動,使物質的電導率發(fā)生變化或產(chǎn)生光生伏特的現(xiàn)象。外光電效應是被光激發(fā)產(chǎn)生的電子逸出物質表面,形成真空中的電子的現(xiàn)象。外光電效應在光的作用下,物體內(nèi)的電子逸出物體表面向外發(fā)射的現(xiàn)象叫做外光電效應。外光電效應的一些實驗規(guī)律a.只當照射物體的光頻率不小于某個確定值時,物體才能發(fā)出光電子,這個頻率叫做極限頻率(或叫做截止頻率),相應的波長λ0叫做極限波長。不同物質的極限頻率和相應的極限波長 是不同的。用于齒輪箱和驅動動力傳動系的機械負載測試的運動跟蹤。

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線,結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型:它適合于一般應力測量;②溫度自動補償型:它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消,只適用于特定的試件材料;③靈敏度補償型:通過選擇適當?shù)囊r底材料(例如不銹鋼),并采用穩(wěn)流電路,使溫度引起的靈敏度變化極??;④高輸出(高電阻)型:它的阻值很高(2~10千歐),可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓,因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型:它在比較寬的應力范圍內(nèi),呈現(xiàn)較寬的應變線性區(qū)域,適用于大應變范圍的場合;⑥P-N組合溫度補償型:它選用配對的P型和N型兩種轉換元件作為電橋的相鄰兩臂,從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。包括與機器的數(shù)據(jù)交互接口,可實現(xiàn)自動測量線和誤差補償。電子激光干涉儀缺陷檢測

為展示IDS3010在測量短距離和長距離位移方面的優(yōu)勢。佛山納米精度激光干涉儀

精密機械技術

??拼髮W的專業(yè)課程

精密機械技術是一個大學專業(yè)課程,培養(yǎng)掌握精密機械與儀器的基礎理論和專業(yè)知識,事精密儀器與機械的設計制造,以及設備的測量控制和維護管理的高級技術應用性專門人才。

中樞能力:精密機械設計制造、信息處理、測量和控制的技能。

專業(yè)中樞課程與主要實踐環(huán)節(jié):機械設計基礎、電工與電子學、互換性和技術測量、微機原理與應用、傳感器、信號分析與處理、控制工程基礎、工程光學基礎、精密機械與儀器設計、精密機械制造工藝學、精密測量與控制、金工實習、電工電子實習、測試與檢測實習、精密機械課程設計、畢業(yè)實習(設計)等,以及各校的主要特色課程和實踐環(huán)節(jié)。 佛山納米精度激光干涉儀

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