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電子激光干涉儀位移

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-07-04

數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè):數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。     更多的測(cè)量軸有助于更多的旋轉(zhuǎn)參數(shù):偏心率,表面質(zhì)量, 傾斜誤差和徑向運(yùn)動(dòng)。電子激光干涉儀位移

干涉儀技術(shù)參數(shù):5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:1.線性:0.5ppm.2.測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)3.線性分辨力:0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍:800角秒6.滾動(dòng)角精度:1.0角秒7.直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍:500um9.垂直度精度:1角秒10.溫度精度:0.2攝氏度11.濕度精度:5%12.壓力精度:1mmHg從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。廣州激光干涉儀表面粗糙度檢測(cè)軸承誤差在±5μm之間,由軸承誤差引起。

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等,后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。       

穿心式電流互感器其本身結(jié)構(gòu)不設(shè)一次繞組,載流(負(fù)荷電流)導(dǎo)線由L1至L2穿過(guò)由硅鋼片搟卷制成的圓形(或其他形狀)鐵心起一次繞組作用。二次繞組直接均勻地纏繞在圓形鐵心上,與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負(fù)荷串聯(lián)形成閉合回路,由于穿心式電流互感器不設(shè)一次繞組,其變比根據(jù)一次繞組穿過(guò)互感器鐵心中的匝數(shù)確定,穿心匝數(shù)越多,變比越??;反之,穿心匝數(shù)越少,變比越大,額定電流比I1/n:式中I1——穿心一匝時(shí)一次額定電流;n——穿心匝數(shù)。 以太網(wǎng)Web界面(工業(yè)4.0)。

干涉儀技術(shù)參數(shù):5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:1.線性:0.5ppm.2.測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)3.線性分辨力:0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍:800角秒6.滾動(dòng)角精度:1.0角秒7.直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍:500um9.垂直度精度:1角秒10.溫度精度:0.2攝氏度11.濕度精度:5%12.壓力精度:1mmHg從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。     提供: 反射器表面誤差,s(Φ)。 XY-跳動(dòng)運(yùn)動(dòng)誤差,εX(Φ)和εy(Φ)。廣州激光干涉儀表面粗糙度

樣品和細(xì)胞的擴(kuò)張/收縮 長(zhǎng)度相對(duì)變化(ΔL)。電子激光干涉儀位移

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等,后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。           電子激光干涉儀位移