(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標測量機發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測器的不足(如果探測器的響應(yīng)果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。       我們的技術(shù)合作伙伴etalon AG基于IDS3010(做到這一點)。番禺區(qū)納米精度激光干涉儀

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luogan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結(jié)構(gòu)和超精細結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎(chǔ)的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設(shè)計的干涉儀做了關(guān)于運動介質(zhì)中的光速的實驗，以驗明運動介質(zhì)是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對juedui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。      惠州平臺校準激光干涉儀寄生（錯誤）運動將被確定。

“光伏效應(yīng)”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結(jié)合的不同部位之間產(chǎn)生電位差的現(xiàn)象。它首先是由光子（光波）轉(zhuǎn)化為電子、光能量轉(zhuǎn)化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發(fā)電，其基本原理就是“光伏效應(yīng)”。太陽能**的任務(wù)就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉(zhuǎn)化的太陽能電池是陽光發(fā)電的關(guān)鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產(chǎn)生一定方向電動勢的現(xiàn)象。基于該效應(yīng)的器件有光電池和光敏二極管、三極管。

不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個匝數(shù)不同、各自獨自的繞組，以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要，例如在同一負荷情況下，為了保證電能計量準確，要求變比較小一些（以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右），準確度等級高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級）；而用電設(shè)備的繼電保護，考慮到故障電流的保護系數(shù)較大，則要求變比較大一些，準確度等級可以稍低一點（如2K1.2K2為300/5.1級）。 2000轉(zhuǎn)/分時的總振動高于150納米，可能導致電機 故障。

體型半導體應(yīng)變片這種半導體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應(yīng)變片可分為6種。

①普通型：它適合于一般應(yīng)力測量；

②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；

③靈敏度補償型：通過選擇適當?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極小；

④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。

⑤超線性型：它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域，適用于大應(yīng)變范圍的場合；

⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。   超長距離測量，齒輪傳動間隙測量！測量激光干涉儀位移測量

不穩(wěn)定的偏航和俯仰測量。番禺區(qū)納米精度激光干涉儀

升降變差

1.能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過表7規(guī)定值的1.5倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過表的規(guī)定。

2.測定升降變差時，應(yīng)在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩(wěn)地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數(shù)；然后再從另一個方向平穩(wěn)地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數(shù)，標準表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測定升降變差，這時應(yīng)維持被測量之值不變。測定儀表升降變差時應(yīng)遵守規(guī)定，若被測之量連續(xù)可調(diào)，可與測定基本誤差一同進行。 番禺區(qū)納米精度激光干涉儀