激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。    包括與機(jī)器的數(shù)據(jù)交互接口，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量線和誤差補(bǔ)償！黃浦區(qū)激光干涉儀形貌測(cè)量

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。       段差激光干涉儀金線檢測(cè)2000轉(zhuǎn)/分時(shí)的總振動(dòng)高于150納米，可能導(dǎo)致電機(jī) 故障。

干涉儀技術(shù)參數(shù)：5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1.線性：0.5ppm.2.測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動(dòng)角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。     

5指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對(duì)裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(guò)(0.01L+0.8)MM。其中L是標(biāo)度尺長(zhǎng)度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6檢查有無(wú)封印，外殼密封是否良好。三相儀表應(yīng)在對(duì)稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個(gè)線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個(gè)相電流與對(duì)應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 傳感頭的緊湊和模塊化設(shè)計(jì)，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個(gè)工作范圍內(nèi)快速安裝和快速對(duì)齊！

外觀檢查規(guī)定1表盤上或外殼上至少應(yīng)有下述標(biāo)志符號(hào)：A.儀表名稱或被測(cè)之量的標(biāo)志符號(hào)；B.型號(hào)；C.系別符號(hào)；D.準(zhǔn)確度等級(jí)；E.廠名或廠標(biāo)；F.制造標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；G.制造年月或出廠編號(hào)；H.電流種類或相數(shù)，三相儀表中測(cè)量機(jī)構(gòu)的元件數(shù)量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯(lián)用的儀表)；K.定值導(dǎo)線值(或符號(hào))和分流器額定電壓降值(對(duì)低量限電壓表的要求)。2儀表的端鈕和轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)上應(yīng)有用途標(biāo)志；3從外表看，零部件完整，無(wú)松動(dòng)，無(wú)裂縫，無(wú)明顯殘缺或污損。當(dāng)傾斜或輕搖儀表時(shí)，內(nèi)部無(wú)撞擊聲；4向左右兩方向旋動(dòng)機(jī)械調(diào)零器，指示器應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，左右對(duì)稱；更多的測(cè)量軸有助于更多的旋轉(zhuǎn)參數(shù)：偏心率，表面質(zhì)量， 傾斜誤差和徑向運(yùn)動(dòng)!段差激光干涉儀金線檢測(cè)

2000轉(zhuǎn)/分時(shí)的總振動(dòng)高于150納米，可能導(dǎo)致電機(jī) 故障！黃浦區(qū)激光干涉儀形貌測(cè)量

體型半導(dǎo)體應(yīng)變片這種半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導(dǎo)體應(yīng)變片可分為6種。

①普通型：它適合于一般應(yīng)力測(cè)量；

②溫度自動(dòng)補(bǔ)償型：它能使溫度引起的導(dǎo)致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動(dòng)抵消，只適用于特定的試件材料；

③靈敏度補(bǔ)償型：通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極??；

④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。

⑤超線性型：它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域，適用于大應(yīng)變范圍的場(chǎng)合；

⑥P-N組合溫度補(bǔ)償型：它選用配對(duì)的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。   黃浦區(qū)激光干涉儀形貌測(cè)量