在半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,圓晶減薄是其中一個(gè)關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。實(shí)際上,由于芯片已在圓晶上成形,減薄操作的任何失誤都可能影響芯片成品率和成本。在減薄加工中,可用接觸式或非接觸式傳感器測(cè)量,甚至可在去離子水中測(cè)量,進(jìn)行嚴(yán)格在線控制。馬波斯傳感器甚至可檢測(cè)到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過載。另外,馬波斯傳感器可控制的厚度從4μm到900μm(單側(cè)測(cè)量),智能處理厚度數(shù)據(jù),可正??刂瞥『穸群陀涗洈?shù)據(jù)(黑盒功能)。憑借e.d.c.產(chǎn)品,馬波斯提供了一整套解決方案,專門用于任何類型電機(jī)的功能測(cè)試和下線測(cè)試。選墊機(jī)
泄漏檢測(cè)是電芯生產(chǎn)中的必要工序,尤其是對(duì)新一代鋰離子電芯來說,更是如此。電解液通常含易燃溶劑,如果與空氣中的水分接觸,會(huì)產(chǎn)生有害物質(zhì)。為了避免電解液的泄漏,必須保證電芯的充分密封。此外,還需避免水分或其它外部污染物進(jìn)入電芯內(nèi)而影響電芯的正常工作。在傳統(tǒng)的電芯生產(chǎn)線上,一般會(huì)使用氦氣作為示蹤氣體來檢測(cè)泄漏,但該方法只能用于在電芯尚未完全密封的階段使用,或是在注液期間充入氦氣并將氦氣封存在電芯內(nèi),然而這種方法會(huì)影響生產(chǎn)工藝,也并不適用于所有類型的電芯。然而電解液示蹤技術(shù)可在生產(chǎn)過程EOL階段檢測(cè)電芯泄漏情況,即在電芯注液并密封后進(jìn)行檢測(cè)。選墊機(jī)馬波斯電機(jī)檢測(cè)解決方案旨在通過使用識(shí)別電機(jī)內(nèi)部潛在趨勢(shì)的設(shè)備來檢查電機(jī)的完整性。
電池pack是電動(dòng)汽車動(dòng)力總成中的要素之一,該組件的性能是PHEV和BEV汽車未來商業(yè)化成功的關(guān)鍵。該組件體現(xiàn)了電動(dòng)汽車的價(jià)值,因此,必須在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上提供足夠的質(zhì)量和過程控制來保證比較高的質(zhì)量水平。馬波斯關(guān)于電池pack組裝的方案集中在如下關(guān)鍵工序成品電池pack和冷卻回路的泄漏測(cè)試。在用嗅探法對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試時(shí),泄漏測(cè)試是電池pack裝配過程中的基本要求,用于檢查電池pack的氣密性,以防止水、濕氣、灰塵或其他外部污染物進(jìn)入,導(dǎo)致電池pack內(nèi)部的高壓零部件出現(xiàn)短路。
Optoflash具有以下特點(diǎn)。一、易于使用簡(jiǎn)單直觀的用戶界面降低了操作人員培訓(xùn)的成本。智能結(jié)果顯示、工件細(xì)節(jié)圖像、圖形設(shè)置等各項(xiàng)功能一應(yīng)俱全。任何人員都能輕松使用Optoflash測(cè)量系統(tǒng),并能對(duì)新的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行設(shè)置。二、新功能在測(cè)量數(shù)據(jù)存檔后,操作人員可利用智能搜索功能,通過圖像和統(tǒng)計(jì)趨勢(shì)顯示查看零件的詳細(xì)信息。三、高級(jí)設(shè)置的柔性測(cè)量系統(tǒng)能夠通過簡(jiǎn)單的操作滿足各種應(yīng)用要求。除此之外,Optoflash測(cè)量系統(tǒng)配備了馬波斯軟件用戶界面。電動(dòng)機(jī)的完整質(zhì)量控制包括絕緣試驗(yàn),以驗(yàn)證裝配操作沒有損害絕緣的完美狀態(tài)以及一系列功能試驗(yàn)。
對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)來說,圓晶測(cè)量和缺陷檢測(cè)都是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié),檢測(cè)和控制生產(chǎn)中的每一步生產(chǎn)質(zhì)量。為了顯微測(cè)量,馬波斯提供2D光譜共焦線掃相機(jī)。在超高分辨率和超大景深應(yīng)用中,可在Z軸上準(zhǔn)確聚焦。因此,這是檢測(cè)圓晶缺陷的理想選擇,例如,圓晶沿的檢測(cè)和封裝期間的檢測(cè)。這些傳感器都允許集成在測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備中。馬波斯和STIL在數(shù)十年的發(fā)展中積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),可為用戶提供量身定制解決方案和的光學(xué)設(shè)計(jì)。馬波斯的小橫向分辨率為0.4μm*0.4μm,大傾斜角為+/-45°,0.75數(shù)值孔徑。馬波斯將自動(dòng)化和測(cè)試有效地結(jié)合在一起,馬波斯將測(cè)試技術(shù)無縫整合到客戶的作業(yè)流程中。選墊機(jī)
馬波斯齒輪產(chǎn)品線包括多種類型齒輪尺寸測(cè)量,如用于DOB檢查的量規(guī),雙嚙和單嚙齒輪滾子測(cè)量的量規(guī)測(cè)量系統(tǒng)。選墊機(jī)
MARPOSS累積室中的氦氣對(duì)電池PACK進(jìn)行泄漏測(cè)試,該技術(shù)在此漏率范圍內(nèi)取得了非常好的測(cè)試結(jié)果,并且方案簡(jiǎn)單可靠。通過空氣泄漏測(cè)試方法(壓降法或質(zhì)量流量法)檢查組裝好的冷卻回路。檢測(cè)泄漏精度高達(dá)10-4SCC/sec該方法不受待測(cè)產(chǎn)品和環(huán)境溫度影響適用于大體積和外殼會(huì)變形的產(chǎn)品的測(cè)試測(cè)試節(jié)拍可優(yōu)化,不受密封邊長(zhǎng)短的影響按照客戶的規(guī)格要求定制方案或通用化的解決方案結(jié)構(gòu)堅(jiān)固。另外,全自動(dòng)方案或手動(dòng)上料方案、高可靠性低、使用成本檢測(cè)泄漏、精度高達(dá)10-4SCC/sec都是該測(cè)試的優(yōu)勢(shì)。選墊機(jī)