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以專門作為工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20。寶來利真空底板11、寶來利真空側(cè)壁12、第二底板21和第二側(cè)壁22均可由金屬材料組成,其中,第二底板21和第二側(cè)壁22則優(yōu)先選用熱傳導(dǎo)效果較好的金屬材料組成,例如可選不銹鋼或鋁合金等材料。除上述結(jié)構(gòu)形式外,外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20還可以共用一個(gè)底板,真空鍍膜設(shè)備用一圈隔離板對(duì)外腔體10進(jìn)行分割即可。但為了將內(nèi)反應(yīng)腔20的空間盡可能地縮小到所需范圍,且真空鍍膜設(shè)備大限度地降低非必要的空間,該實(shí)施方式中設(shè)置了寶來利真空底板11和第二底板21相互分離的設(shè)置結(jié)構(gòu),以在垂直方向上縮小內(nèi)反應(yīng)腔20的空間。其中,寶來利真空底板11、寶來利真空側(cè)壁12和密封蓋板30三者相互密閉連接共同構(gòu)成了與外部大氣隔離的具有封閉結(jié)構(gòu)的外腔體10。而內(nèi)反應(yīng)腔20則位于該外腔體10之內(nèi),但是第二側(cè)壁22與密封蓋板30之間并未形成封閉式接觸,兩者之間屬于分離式設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)也就使得外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間在仍屬于相互連通的結(jié)構(gòu)構(gòu)造,用該結(jié)構(gòu)可以將真空設(shè)備中的部分構(gòu)件分離,將工藝過程中非必要的機(jī)械結(jié)構(gòu)部件設(shè)置于外腔體10中,而與工藝反應(yīng)相關(guān)的結(jié)構(gòu)部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中。在工藝反應(yīng)過程中,由于工藝反應(yīng)區(qū)的壓力要大于外腔體10中的壓力。 風(fēng)鏡真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來考察!
進(jìn)一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和本實(shí)用新型所述的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi),部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實(shí)用新型提供的真空反應(yīng)腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;并且,內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門,工件自外腔體經(jīng)自動(dòng)門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動(dòng)門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對(duì)較小。
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雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式*包含一個(gè)**的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式**是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車燈鍍膜機(jī)寶來利真空BLL多弧離子PVD鍍膜設(shè)備CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車燈鍍膜機(jī)汽車燈具,高等燈具反光碗的鍍膜,通過蒸鍍,硅油保護(hù)膜一次性完成,具有寶來利真空的反射率和耐腐蝕性能。丹陽(yáng)市寶來利真空機(jī)電有限公司多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種鍍膜技術(shù),將各種氣體寶來利真空BLL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn)。 寶來利螺桿真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細(xì)膩有光澤,有需要可以來咨詢!浙江多弧離子鍍膜機(jī)真空鍍膜設(shè)備品牌
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