本實用新型涉及真空鍍膜技術領域,具體為一種高分子等離子表面真空鍍膜設備。背景技術:真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結于鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法,例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等,真空鍍膜是真空應用領域的一個重要方面,它是以真空技術為基礎,利用物理或化學方法,并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術,為科學研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝,簡單地說,在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸發(fā)或濺射,使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法,稱為真空鍍膜?,F(xiàn)有的真空鍍膜設備雖然能夠完成鍍膜的工作,但是當鍍膜公祖完成后,由于腔體內部仍然處于真空狀態(tài),與外界環(huán)境具有一定的壓強差,若過早打開密封門,坩堝溫度依然很高,鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險,若等坩堝降溫后再打開密封門,會耗費較多的時間,影響工作效率。技術實現(xiàn)要素:針對現(xiàn)有技術的不足,本實用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設備,解決了若過早打開密封門,鍍膜材料容易發(fā)生噴濺,造成危險,若等坩堝降溫后再打開密封門,會耗費較多的時間。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,鍍膜高效,有需要可以咨詢!燈管真空鍍膜機供應商
本實用新型涉及真空設備領域,尤其涉及一種真空反應腔室和真空鍍膜設備。背景技術:目前,真空設備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設備已被廣泛應用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導體器件等等。真空設備中(如pecvd設備、pvd設備)的寶來利真空反應室通常為單個反應腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設置于該單個反應腔室內,這就造成反應腔室內的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設置單個反應腔室時,由于工藝反應區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應腔室,以解決現(xiàn)有真空設備中由于只設置一個反應腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應腔室的真空鍍膜設備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案如下:一種真空反應腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。江蘇導電膜真空鍍膜機哪家便宜寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,餐具鍍膜,有需要可以咨詢!
然后將基板2推入兩個限位板10之間的限位槽內,并關閉密封門5,打開抽風機21,將腔體1內的空氣抽出,通過控制面板使加熱器工作通過加熱板14加熱坩堝3進行鍍膜,鍍膜完成后,使寶來利真空伸縮桿10工作,帶動活動板9運動,使坩堝3運動至防護框7內,然后第二伸縮桿11工作,推動寶來利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運動,使防護框7密封,然后即可打開密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說明的是,在本文中,諸如寶來利真空和第二等之類的關系術語寶來利寶來利用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且,術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不寶來利包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型一種實施方式的真空反應腔室,其結構如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內的用于進行工藝反應的內反應腔20;所述內反應腔20的側壁上設有自動門23,所述自動門23連接自動門控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動門23進入所述內反應腔20中。本實施方式提供的真空反應腔室,外腔室和內反應腔20為嵌套結構,其內反應腔20位于外腔室內。該結構中,相當于設置了兩個腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內反應腔20中的區(qū)域為工藝反應區(qū),形成相對封閉的工藝環(huán)境,相關工藝反應在內反應腔20中進行。由于采用雙腔室結構,可以將工藝模塊部件設置于內反應腔20中,而與工藝反應無直接關系的機械模塊部件則被設置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動門23進入內反應腔20中進行工藝反應,可以有效避免設備雜質和工件雜質進入內反應腔20中。該結構可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應區(qū)域。寶來利新能源汽車真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!
避免工藝污染,提供工藝質量。由于設置雙腔室,作為工藝反應區(qū)的內反應腔20相對較小,因此可以有效減少工藝原料的浪費,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同時,由于工藝反應區(qū)的減少,可以有效控制該區(qū)域內的溫度,使該區(qū)域內的工藝溫度更易于均勻化,進而提高工藝質量。需要說明的是,內反應腔20位于外腔體10內,但內反應腔20和外腔體10處于可連通狀態(tài),并非完全隔絕,當對外腔體10進行抽真空處理時,內反應腔20內也同時進行抽真空操作。外腔體10和內反應腔20處于相互連通的狀態(tài),只是在外腔體10內劃分出了一個立體空間以進行工藝反應。本實施方式中,參照圖2,所述外腔體10包括寶來利真空底板11和沿所述寶來利真空底板11周向設置的寶來利真空側壁12;所述內反應腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向設置的第二側壁22;所述寶來利真空底板11與所述第二底板21相互分離設置,所述寶來利真空側壁12與所述第二側壁22相互分離設置;寶來利真空側壁12與蓋設于所述寶來利真空側壁12上的密封蓋板30密閉連接,所述第二側壁22與所述密封蓋板30相互分離設置。該結構中,相當于用第二底板21和第二側壁22在外腔體10中分割出一個更小的空間。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,五金鍍膜,有需要可以咨詢!江蘇鐘表首飾真空鍍膜機哪家好
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雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式*包含一個**的技術方案,說明書的這種敘述方式**是為清楚起見,本領域技術人員應當將說明書作為一個整體,各實施例中的技術方案也可以經(jīng)適當組合,形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。蒸發(fā)鍍膜機離子鍍膜機車燈鍍膜機寶來利真空BLL多弧離子PVD鍍膜設備CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線蒸發(fā)鍍膜機離子鍍膜機車燈鍍膜機汽車燈具,高等燈具反光碗的鍍膜,通過蒸鍍,硅油保護膜一次性完成,具有寶來利真空的反射率和耐腐蝕性能。丹陽市寶來利真空機電有限公司多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎上發(fā)展起來的一種鍍膜技術,將各種氣體寶來利真空BLL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn)。燈管真空鍍膜機供應商