雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式*包含一個(gè)**的技術(shù)方案,說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式**是為清楚起見(jiàn),本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車(chē)燈鍍膜機(jī)寶來(lái)利真空BLL多弧離子PVD鍍膜設(shè)備CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線蒸發(fā)鍍膜機(jī)離子鍍膜機(jī)車(chē)燈鍍膜機(jī)汽車(chē)燈具,高等燈具反光碗的鍍膜,通過(guò)蒸鍍,硅油保護(hù)膜一次性完成,具有寶來(lái)利真空的反射率和耐腐蝕性能。丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司多弧離子鍍是在真空蒸發(fā)鍍和濺射鍍膜的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種鍍膜技術(shù),將各種氣體寶來(lái)利真空BLL系列磁控濺射鍍膜流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn)。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,衛(wèi)浴產(chǎn)品鍍膜,有需要可以咨詢!浙江手機(jī)屏真空鍍膜機(jī)哪家便宜
結(jié)合圖1和圖2所示,頂蓋22遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有動(dòng)觸點(diǎn)224;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點(diǎn)123,靜觸點(diǎn)123位于寶來(lái)利真空凹槽21與抽氣管3之間;動(dòng)觸點(diǎn)224與外部電源電性連接;靜觸點(diǎn)123與氣缸53電性連接;利用動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123的接觸來(lái)控制氣缸53的運(yùn)行,防止氣缸53長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,節(jié)約能源。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖1所示,鍍膜機(jī)1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開(kāi)關(guān)13及換向器;開(kāi)關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接;換向器與電磁鐵122電性連接;利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來(lái)改變磁極,進(jìn)行頂蓋22的打開(kāi)與閉合。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,結(jié)合圖4所示,頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225;便于在抽氣時(shí)氣體的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是,對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換,而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。浙江工具真空鍍膜機(jī)推薦貨源品質(zhì)真空鍍膜機(jī),請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來(lái)咨詢!
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真空鍍膜設(shè)備在操作過(guò)程中,膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當(dāng)、磁場(chǎng)設(shè)計(jì)不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下:距離問(wèn)題:靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化,會(huì)影響濺射的均勻性。磁場(chǎng)設(shè)計(jì)問(wèn)題:磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴(lài)于磁場(chǎng)的設(shè)計(jì),如果磁場(chǎng)分布和強(qiáng)度不均,則會(huì)導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問(wèn)題:如乙炔在反應(yīng)濺射過(guò)程中引入不均,也會(huì)導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問(wèn)題,可以考慮以下方案:調(diào)整靶材與基片間的距離:確保兩者間距離適宜,以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場(chǎng)設(shè)計(jì):通過(guò)改善和優(yōu)化磁場(chǎng)的分布及強(qiáng)度,提高靶材表面離子轟擊的均勻性,進(jìn)而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材:在濺射過(guò)程中,改變它們的相對(duì)位置和角度,使得材料能夠更均勻地分布在基片上。品質(zhì)真空鍍膜機(jī)膜層致密,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來(lái)咨詢考察!
本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來(lái)利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來(lái)利真空反應(yīng)室通常為單個(gè)反應(yīng)腔室,傳動(dòng)部件和升降部件等機(jī)械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個(gè)反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個(gè)反應(yīng)腔室時(shí),由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費(fèi),同時(shí),還會(huì)造成工藝反應(yīng)過(guò)程中溫度波動(dòng)大,不可控因素較多,從而影響工藝過(guò)程。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的寶來(lái)利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個(gè)反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費(fèi)、環(huán)境溫度可控性低等問(wèn)題。本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種包含本實(shí)用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,裝飾鍍膜,有需要可以咨詢!1200真空鍍膜機(jī)廠家
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進(jìn)一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和本實(shí)用新型所述的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi),部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實(shí)用新型提供的真空反應(yīng)腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;并且,內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門(mén),工件自外腔體經(jīng)自動(dòng)門(mén)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中,而與工藝反應(yīng)無(wú)直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動(dòng)門(mén)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對(duì)較小。浙江手機(jī)屏真空鍍膜機(jī)哪家便宜