結(jié)合圖1和圖2所示，頂蓋22遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有動(dòng)觸點(diǎn)224；第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點(diǎn)123，靜觸點(diǎn)123位于寶來利真空凹槽21與抽氣管3之間；動(dòng)觸點(diǎn)224與外部電源電性連接；靜觸點(diǎn)123與氣缸53電性連接；利用動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123的接觸來控制氣缸53的運(yùn)行，防止氣缸53長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，節(jié)約能源。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖1所示，鍍膜機(jī)1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)13及換向器；開關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接；換向器與電磁鐵122電性連接；利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來改變磁極，進(jìn)行頂蓋22的打開與閉合。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖4所示，頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225；便于在抽氣時(shí)氣體的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換，而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。寶來利晶圓真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細(xì)膩有光澤，有需要可以來咨詢！浙江燙鉆真空鍍膜機(jī)

1. 高效節(jié)能！新一代真空鍍膜設(shè)備助力工業(yè)升級(jí) 2.創(chuàng)新科技！真空鍍膜設(shè)備打造超硬防護(hù)膜 3.環(huán)保無(wú)污染！真空鍍膜設(shè)備助您輕松邁向綠色生產(chǎn) 4.***精密！真空鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)微米級(jí)涂層控制 5.輕松應(yīng)對(duì)高溫！真空鍍膜設(shè)備提供耐熱涂層解決方案 6.美輪美奐！真空鍍膜設(shè)備助您創(chuàng)造獨(dú)特的表面效果 7.拒絕腐蝕！真空鍍膜設(shè)備打造抗酸堿涂層 8.高穩(wěn)定性！真空鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)持久涂層保護(hù) 9.多功能應(yīng)用！真空鍍膜設(shè)備適用于金屬、玻璃等多種材料 10.***保證！真空鍍膜設(shè)備助您打造精細(xì)工藝產(chǎn)品浙江新能源車部件真空鍍膜機(jī)品牌寶來利陶瓷真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，細(xì)膩有光澤，有需要可以來咨詢！

通過上述說明可知，溫控管40的設(shè)置形式多種多樣，本實(shí)用新型并不限制溫控管40的具體設(shè)置形式，例如可以按照上述溫控管40纏繞并固定的形式，也可以按照在第二側(cè)壁22或第二底板21上安裝水套或設(shè)通道的形式，只要求保證使用時(shí)溫控管40可耐壓耐溫不出現(xiàn)滲漏或漏電現(xiàn)象即可。另一方面，本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空鍍膜設(shè)備，包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和實(shí)施例一的真空反應(yīng)腔室，所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)，部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體10內(nèi)。該真空鍍膜設(shè)備包括本實(shí)用新型的真空反應(yīng)腔室，因此，該真空鍍膜設(shè)備具有上述真空反應(yīng)腔室的全部***，在此不再贅述。其中，設(shè)置于外腔體10內(nèi)的部分機(jī)械模塊部件為與工藝反應(yīng)無(wú)關(guān)的一些傳動(dòng)機(jī)械部件、升降機(jī)械部件等等，另一部與工藝反應(yīng)相關(guān)的機(jī)械部件，如鍍膜靶材的轉(zhuǎn)動(dòng)部件等等則設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中。具體的，可以根據(jù)真空鍍膜設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)而定。該真空鍍膜設(shè)備中，由于真空反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)成內(nèi)外腔結(jié)構(gòu)，同時(shí)，通過設(shè)置溫控裝置，可以有效地保證工藝環(huán)境封閉、恒溫、外部污染源少，為工藝反應(yīng)提供了更為穩(wěn)定、純凈的環(huán)境。通過實(shí)際實(shí)驗(yàn)證明，反應(yīng)區(qū)域溫度環(huán)境更均勻。

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本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)：真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法，例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等，真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學(xué)方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝，簡(jiǎn)單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射，使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備雖然能夠完成鍍膜的工作，但是當(dāng)鍍膜公祖完成后，由于腔體內(nèi)部仍然處于真空狀態(tài)，與外界環(huán)境具有一定的壓強(qiáng)差，若過早打開密封門，坩堝溫度依然很高，鍍膜材料容易發(fā)生噴濺，造成危險(xiǎn)，若等坩堝降溫后再打開密封門，會(huì)耗費(fèi)較多的時(shí)間，影響工作效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備，解決了若過早打開密封門，鍍膜材料容易發(fā)生噴濺，造成危險(xiǎn)，若等坩堝降溫后再打開密封門，會(huì)耗費(fèi)較多的時(shí)間。寶來利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，化合物膜層，有需要可以咨詢！浙江新能源車部件真空鍍膜機(jī)品牌

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因此，即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通，但外腔體10中的污染物也很難進(jìn)入到內(nèi)反應(yīng)腔20中，從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此，外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境，因此，當(dāng)對(duì)外腔體10進(jìn)行抽真空處理時(shí)，內(nèi)反應(yīng)腔20也同時(shí)進(jìn)行抽真空處理。本實(shí)施方式中，自動(dòng)門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上，所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13，所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動(dòng)門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動(dòng)門控制器控制自動(dòng)門的啟閉。抽真空完成后，自動(dòng)門控制器檢測(cè)傳送裝置上是否有工件存在，經(jīng)檢測(cè)若有工件存在，則控制自動(dòng)門打開，工件在傳送裝置的作用下進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動(dòng)門控制器再控制自動(dòng)門關(guān)閉?？梢岳斫獾氖?，傳送裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的傳送帶，以及驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如電機(jī)。其中，傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺(tái)相對(duì)應(yīng)。繼續(xù)參照?qǐng)D2，為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控，第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對(duì)所述內(nèi)反應(yīng)腔20進(jìn)行控溫的溫控裝置，以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。浙江燙鉆真空鍍膜機(jī)