如圖3所示,所述溫控裝置包括溫控管40,所述溫控管40連接位于外腔體10外的恒溫控制器41。溫控管40的引入口及引出口與外部的恒溫控制器41連接,恒溫控制器41可用于恒溫制冷也可用于恒溫加熱,保證內(nèi)反應(yīng)腔20中的溫度可以持續(xù)恒定,從而使工藝反應(yīng)區(qū)域內(nèi)的工藝環(huán)境溫度更穩(wěn)定。經(jīng)過在真空鍍膜設(shè)備上的實際應(yīng)用驗證,該真空腔體對于工藝成膜質(zhì)量及鍍膜均勻性均有十分有效的改善和提升。其中,溫控管40包括加熱管和/或冷卻管。一般情況下,在工藝反應(yīng)過程中,通常需要升溫以完成相關(guān)的工藝反應(yīng),因此,溫控管40包括必要的加熱管,而冷卻管可以根據(jù)實際的工藝需要選選擇性地添加即可。例如,若在工藝反應(yīng)過程中,需要進行快速降溫,此時可以設(shè)置冷卻管。所述加熱管非限制性地例如可以為電加熱管、水加熱管或油加熱管。冷卻管例如可以為水冷卻管或油冷卻管。為了增加溫控效果,第二側(cè)壁22和第二底板21處均設(shè)有溫控管40。其中,所述溫控管40纏繞于所述第二側(cè)壁22的外部,且所述溫控管40鋪設(shè)于所述第二底板21的底部。除上述纏繞方式外,還可以用埋設(shè)的方式鋪設(shè)加熱管,例如,所述第二底板21內(nèi)和所述第二側(cè)壁22內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管40的通道,所述溫控管40埋設(shè)于所述通道內(nèi)。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,合金膜層,有需要可以咨詢!陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
本實用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時,由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。 江蘇防藍光真空鍍膜設(shè)備定制品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層不易褪色,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!
BLL系列真空離子鍍膜機是當今世界上用于表面涂裝PVD膜層的**寶來利設(shè)備,運用PLC及觸摸屏實現(xiàn)自動化邏輯程序控制操作,設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、外觀優(yōu)雅、性能穩(wěn)定、操作達到人機對話,簡便,鍍出的膜層牢固且細密,是工業(yè)化生產(chǎn)的理想設(shè)備,其比較大特點是它的**性,真空鍍膜設(shè)備屬于無三廢、無污染的清潔生產(chǎn)設(shè)備,無須**部門審批。由于配有**的電器控制系統(tǒng)及穩(wěn)定的工藝界面,針對各種金屬進行表面鍍膜.例如:鐘表行業(yè)(表帶、表殼、表盤等)、五金行業(yè)(衛(wèi)生潔具、門把手、拉手、門鎖等)、建筑行業(yè)(不銹鋼板、樓梯扶手、立柱等)、精密模具業(yè)(沖棒標準件模具、成型模具等)、工具行業(yè)(鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、刀頭)、汽車工業(yè)(活塞、活塞環(huán)、合金輪轂等)以及鋼筆、眼鏡等等,使其表面得到既美觀又耐磨的功能性磨層.主要鍍制的膜層有:離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻以及RP鍍等超硬功能性金屬膜,經(jīng)離子鍍膜加工后的工件,可以提高硬度、耐磨度,抗腐蝕和美化的作用??慑冎祁伾锈伣鹣盗?、鋯金系列、拉絲系列、黑色系列、彩色膜層系列共十多種色系。PVD多弧離子鍍原理是把真空弧光放電技術(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù)。
進一步地,所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道,所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備,包括機械模塊部件、工藝模塊部件和本實用新型所述的真空反應(yīng)腔室,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi),部分所述機械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實用新型實施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***:本實用新型提供的真空反應(yīng)腔室,包括用于提供真空環(huán)境的外腔體,以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;并且,內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動門,工件自外腔體經(jīng)自動門進入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當于設(shè)置了兩個腔室,其中外腔體用于提供真空環(huán)境,而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中,而與工藝反應(yīng)無直接關(guān)系的機械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體中的工件再經(jīng)自動門進入內(nèi)反應(yīng)腔中進行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進入工藝反應(yīng)區(qū)域,避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對較小。 寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,檔次高,有需要可以咨詢!
膜材料質(zhì)量問題:膜材料的質(zhì)量也會影響膜層的均勻性。使用質(zhì)量不佳的膜材料可能導致膜層出現(xiàn)缺陷或不均勻。因此,應(yīng)選用經(jīng)過質(zhì)量檢驗的膜材料,確保膜層的均勻性和穩(wěn)定性。針對上述問題,可以采取以下措施解決:定期清洗設(shè)備:定期對真空鍍膜機內(nèi)部進行清洗,去除雜質(zhì)和殘留物,確保設(shè)備內(nèi)部的清潔度。優(yōu)化材料分布:確保目標材料在真空鍍膜機內(nèi)均勻分布,避免局部堆積或缺失。調(diào)整工藝參數(shù):根據(jù)實際需求調(diào)整真空鍍膜機的真空度、沉積速度、溫度等參數(shù),以獲得比較好的膜層均勻性。選用質(zhì)量膜材料:選擇質(zhì)量可靠的膜材料供應(yīng)商,確保膜材料的質(zhì)量符合要求。此外,定期進行設(shè)備的校準和維護也是確保真空鍍膜機性能和膜層均勻性的重要措施。通過定期檢查和維護,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題,確保真空鍍膜機的穩(wěn)定運行和高效生產(chǎn)。寶來利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,膜層完美細膩,有需要可以咨詢!刀具真空鍍膜設(shè)備廠家
品質(zhì)刀具模具真空鍍膜設(shè)備,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
多弧離子鍍膜設(shè)備是一種常用的薄膜鍍膜設(shè)備,具有以下優(yōu)點和寶來利的市場應(yīng)用:優(yōu)點:1.高質(zhì)量膜層:多弧離子鍍膜設(shè)備可以在物體表面形成均勻、致密、硬度高、抗腐蝕的膜層,提供優(yōu)異的物理和化學性能。2.高鍍膜效率:該設(shè)備采用多個電弧源,可同時進行多個材料的鍍膜,提高了鍍膜效率和生產(chǎn)能力。3.多種材料可鍍:多弧離子鍍膜設(shè)備可用于鍍膜各類材料,如金屬、合金、陶瓷、塑料等,具有很強的適應(yīng)性和靈活性。4.環(huán)保節(jié)能:采用真空技術(shù),減少了材料的浪費和對環(huán)境的污染,具有較高的資源利用率和節(jié)能效果。市場應(yīng)用:1.光學膜層:多弧離子鍍膜設(shè)備被廣泛應(yīng)用于光學領(lǐng)域,如鏡片、濾光片、反射鏡、透鏡等的鍍膜,提高了光學元件的透光率和耐磨性。2.金屬薄膜:該設(shè)備可用于鍍膜金屬薄膜,如金、銀、銅、鋁等,廣泛應(yīng)用于電子、航空、汽車等領(lǐng)域,提供裝飾性、防腐蝕和導電等功能。3.陶瓷涂層:多弧離子鍍膜設(shè)備可為陶瓷材料提供保護性涂層,增加其硬度、耐磨性和耐腐蝕性,應(yīng)用于陶瓷工具、陶瓷模具等領(lǐng)域。4.醫(yī)療器械:該設(shè)備可用于醫(yī)療器械的表面涂層,如人工關(guān)節(jié)、牙科器械等,提高其生物相容性和耐磨性。陶瓷真空鍍膜設(shè)備規(guī)格