所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空反應(yīng)腔室,其結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體10,以及位于所述外腔體10內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔20;所述內(nèi)反應(yīng)腔20的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門23,所述自動(dòng)門23連接自動(dòng)門控制器,工件自所述外腔體10經(jīng)所述自動(dòng)門23進(jìn)入所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。本實(shí)施方式提供的真空反應(yīng)腔室,外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔20為嵌套結(jié)構(gòu),其內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室,其中外腔體10用于隔絕大氣,提供真空環(huán)境,而內(nèi)反應(yīng)腔20中的區(qū)域?yàn)楣に嚪磻?yīng)區(qū),形成相對(duì)封閉的工藝環(huán)境,相關(guān)工藝反應(yīng)在內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu),可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中,而與工藝反應(yīng)無(wú)直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后,位于外腔體10中的工件再經(jīng)自動(dòng)門23進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中進(jìn)行工藝反應(yīng),可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔20中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域。 品質(zhì)真空鍍膜設(shè)備膜層亮度高,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來(lái)咨詢考察!激光鏡片真空鍍膜設(shè)備規(guī)格
以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔;所述內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門,所述自動(dòng)門連接自動(dòng)門控制器,工件自所述外腔體經(jīng)所述自動(dòng)門進(jìn)入所述內(nèi)反應(yīng)腔中。進(jìn)一步地,所述外腔體包括寶來(lái)利真空底板和沿所述寶來(lái)利真空底板周向設(shè)置的寶來(lái)利真空側(cè)壁;所述內(nèi)反應(yīng)腔包括第二底板和沿所述第二底板周向設(shè)置的第二側(cè)壁;所述寶來(lái)利真空底板與所述第二底板相互分離設(shè)置,所述寶來(lái)利真空側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相互分離設(shè)置;所述寶來(lái)利真空側(cè)壁與蓋設(shè)于所述寶來(lái)利真空側(cè)壁上的密封蓋板密閉連接,所述第二側(cè)壁與所述密封蓋板相互分離設(shè)置。進(jìn)一步地,所述自動(dòng)門設(shè)置于所述第二側(cè)壁上,所述外腔體內(nèi)設(shè)有傳送裝置,所述工件自所述傳送裝置經(jīng)所述自動(dòng)門傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔中。進(jìn)一步地,所述第二底板和/或所述第二側(cè)壁上設(shè)有用于對(duì)所述內(nèi)反應(yīng)腔進(jìn)行控溫的溫控裝置。進(jìn)一步地,所述溫控裝置包括溫控管,所述溫控管連接位于外腔體外的恒溫控制器。進(jìn)一步地,所述溫控管包括加熱管和/或冷卻管。進(jìn)一步地,所述加熱管包括電加熱管、水加熱管或油加熱管;所述冷卻管包括水冷卻管或油冷卻管。進(jìn)一步地,所述溫控管纏繞于所述第二側(cè)壁的外部,且所述溫控管鋪設(shè)于所述第二底板的底部。 浙江熱蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備制造商寶來(lái)利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,AS防污膜,有需要可以咨詢!
BLL系列真空離子鍍膜機(jī)是當(dāng)今世界上用于表面涂裝PVD膜層的**寶來(lái)利設(shè)備,運(yùn)用PLC及觸摸屏實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化邏輯程序控制操作,設(shè)備結(jié)構(gòu)合理、外觀優(yōu)雅、性能穩(wěn)定、操作達(dá)到人機(jī)對(duì)話,簡(jiǎn)便,鍍出的膜層牢固且細(xì)密,是工業(yè)化生產(chǎn)的理想設(shè)備,其比較大特點(diǎn)是它的**性,真空鍍膜設(shè)備屬于無(wú)三廢、無(wú)污染的清潔生產(chǎn)設(shè)備,無(wú)須**部門審批。由于配有**的電器控制系統(tǒng)及穩(wěn)定的工藝界面,針對(duì)各種金屬進(jìn)行表面鍍膜.例如:鐘表行業(yè)(表帶、表殼、表盤等)、五金行業(yè)(衛(wèi)生潔具、門把手、拉手、門鎖等)、建筑行業(yè)(不銹鋼板、樓梯扶手、立柱等)、精密模具業(yè)(沖棒標(biāo)準(zhǔn)件模具、成型模具等)、工具行業(yè)(鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、刀頭)、汽車工業(yè)(活塞、活塞環(huán)、合金輪轂等)以及鋼筆、眼鏡等等,使其表面得到既美觀又耐磨的功能性磨層.主要鍍制的膜層有:離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻以及RP鍍等超硬功能性金屬膜,經(jīng)離子鍍膜加工后的工件,可以提高硬度、耐磨度,抗腐蝕和美化的作用。可鍍制顏色有鈦金系列、鋯金系列、拉絲系列、黑色系列、彩色膜層系列共十多種色系。PVD多弧離子鍍?cè)硎前颜婵栈」夥烹娂夹g(shù)用于蒸發(fā)源的技術(shù)。
真空鍍膜設(shè)備在操作過(guò)程中,膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當(dāng)、磁場(chǎng)設(shè)計(jì)不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下:距離問(wèn)題:靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化,會(huì)影響濺射的均勻性。磁場(chǎng)設(shè)計(jì)問(wèn)題:磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場(chǎng)的設(shè)計(jì),如果磁場(chǎng)分布和強(qiáng)度不均,則會(huì)導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問(wèn)題:如乙炔在反應(yīng)濺射過(guò)程中引入不均,也會(huì)導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問(wèn)題,可以考慮以下方案:調(diào)整靶材與基片間的距離:確保兩者間距離適宜,以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場(chǎng)設(shè)計(jì):通過(guò)改善和優(yōu)化磁場(chǎng)的分布及強(qiáng)度,提高靶材表面離子轟擊的均勻性,進(jìn)而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材:在濺射過(guò)程中,改變它們的相對(duì)位置和角度,使得材料能夠更均勻地分布在基片上。寶來(lái)利真空鍍膜設(shè)備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,五金制品鍍膜,有需要可以咨詢!
優(yōu)化鍍膜過(guò)程的溫度、壓力和時(shí)間控制:溫度對(duì)于材料的蒸發(fā)率和沉積速率有明顯影響,精確的溫度控制可以優(yōu)化膜層的均勻性和附著力。在真空環(huán)境中,控制適當(dāng)?shù)膲毫κ谴_保蒸發(fā)材料以適當(dāng)速率沉積的關(guān)鍵。改進(jìn)真空真空鍍膜機(jī)的鍍膜速度:可以通過(guò)提高真空度、使用高功率蒸發(fā)源、優(yōu)化蒸發(fā)工藝、采用多個(gè)蒸發(fā)源、使用新型材料和增加基底加熱等方式來(lái)提升鍍膜速度。優(yōu)化設(shè)備結(jié)構(gòu)和自動(dòng)化控制:對(duì)真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì),解決影響光學(xué)薄膜質(zhì)量和超多層精密光學(xué)薄膜鍍制的問(wèn)題,提高薄膜的監(jiān)控精度,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的自動(dòng)控制,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。品質(zhì)醫(yī)療儀器真空鍍膜設(shè)備,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,有需要可以來(lái)咨詢考察!雙門真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商家
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高真空多層精密光學(xué)真空鍍膜設(shè)備一般應(yīng)用在哪些方面呢?高真空多層精密光學(xué)真空鍍膜設(shè)備是一種在高真空環(huán)境下,利用物理或化學(xué)方法將薄膜材料沉積到光學(xué)元件表面的設(shè)備。這種技術(shù)應(yīng)用于制造各類光學(xué)薄膜,如抗反射膜、偏振膜、分光膜等,對(duì)提高光學(xué)系統(tǒng)的性能至關(guān)重要。應(yīng)用范圍,包括數(shù)碼相機(jī)鏡頭、眼鏡鏡片、精密測(cè)量?jī)x器、激光設(shè)備、太陽(yáng)能電池以及航空航天領(lǐng)域的光學(xué)傳感器等。通過(guò)精確控制鍍膜的厚度和折射率,可以設(shè)計(jì)出具有特定光學(xué)性質(zhì)的薄膜,以滿足不同場(chǎng)合的需求。高真空多層精密光學(xué)真空鍍膜機(jī)一般應(yīng)用在哪些方面呢?高真空多層精密光學(xué)真空鍍膜機(jī)是一種在高真空環(huán)境下,利用物理或化學(xué)方法將薄膜材料沉積到光學(xué)元件表面的設(shè)備。這種技術(shù)應(yīng)用于制造各類光學(xué)薄膜,如抗反射膜、偏振膜、分光膜等,對(duì)提高光學(xué)系統(tǒng)的性能至關(guān)重要。應(yīng)用范圍,包括數(shù)碼相機(jī)鏡頭、眼鏡鏡片、精密測(cè)量?jī)x器、激光設(shè)備、太陽(yáng)能電池以及航空航天領(lǐng)域的光學(xué)傳感器等。通過(guò)精確控制鍍膜的厚度和折射率,可以設(shè)計(jì)出具有特定光學(xué)性質(zhì)的薄膜,以滿足不同場(chǎng)合的需求。激光鏡片真空鍍膜設(shè)備規(guī)格