氮化硅（Si?N?）是一種非常堅(jiān)硬、耐高溫和化學(xué)穩(wěn)定的陶瓷材料，廣泛應(yīng)用于高溫環(huán)境中的機(jī)械零件、刀具和半導(dǎo)體工業(yè)中。氮化硅具有優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì)，使其在工程領(lǐng)域中備受青睞。然而，由于其高硬度和脆性，傳統(tǒng)的加工方法往往會(huì)導(dǎo)致較大的切削力和熱應(yīng)力，可能會(huì)損傷工件或?qū)е鹿ぜ?。在這種情況下，飛秒激光技術(shù)成為了一種備受關(guān)注的氮化硅加工方法。飛秒激光切割和打孔是一種高精度、低熱影響的加工方法，適用于氮化硅等高硬度材料。這種方法利用飛秒激光器產(chǎn)生的極短脈沖激光束，使得材料在極短的時(shí)間內(nèi)被加熱至高溫，從而實(shí)現(xiàn)切割或打孔。飛秒激光新技術(shù)應(yīng)用剛剛興起，主要應(yīng)用行業(yè)包括： 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)(特別是薄膜技術(shù))、平面顯示業(yè)等。超精密飛秒激光MLCC

所謂飛秒激光鉆孔，即使用頻率非常高的激光對(duì)材料進(jìn)行鉆孔，飛秒是時(shí)間單位，1飛秒等于一千萬億分之一秒，相對(duì)于傳統(tǒng)激光加工設(shè)備，飛秒激光由于脈沖時(shí)間極短，被加工物體不會(huì)被加熱，特別適合加工30微米以下的高精度小孔。對(duì)于飛秒激光而言，脈沖作用時(shí)間已經(jīng)實(shí)際小于1ps，電子沒有足夠的時(shí)間將能量傳遞給晶格。從而在材料表面生成眾多等離子體，能量伴隨著材料的去除而消散，因此出現(xiàn)強(qiáng)烈的燒蝕效果。用飛秒激光進(jìn)行加工，激光脈沖能量極快地注入很小的作用區(qū)域，瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運(yùn)動(dòng)方式發(fā)生變化，從根本上改變了激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制。超精密飛秒激光MLCC飛秒激光鉆孔尤其擅長加工?0.2以下的微孔。

秒激光在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用鉬片作為一種重要的工業(yè)材料，具有高熔點(diǎn)、高導(dǎo)電、高導(dǎo)熱等優(yōu)良性能，廣泛應(yīng)用于電子、能源、航空航天等領(lǐng)域。在鉬片上打沉頭孔是鉬片加工中的一項(xiàng)重要技術(shù)，傳統(tǒng)的加工方式存在加工效率低下、精度不高等問題。而飛秒激光技術(shù)在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用，則可以很好地解決這些問題。飛秒激光在鉬片上打沉頭孔的原理是利用飛秒激光的超快、超短、高能束的特點(diǎn)，在極短時(shí)間內(nèi)對(duì)鉬片進(jìn)行加工，形成所需的沉頭孔。加工過程中，飛秒激光的能量被精確地控制，避免了熱影響和熱損傷等問題，保證了加工質(zhì)量和精度。同時(shí)，飛秒激光加工速度極快，可以大幅提高加工效率。

不只是汽車行業(yè)的噴油器微孔，微細(xì)小型化是當(dāng)下的一個(gè)明顯趨勢，迫使各行業(yè)的制造商去挑戰(zhàn)精密微細(xì)零件的生產(chǎn)，并有效控制每個(gè)零件的生產(chǎn)成本。1）工作空間的有效利用：航空航天應(yīng)用的理想選擇高成本效益的發(fā)動(dòng)機(jī)葉片和燃燒室內(nèi)襯的鉆孔和成型是MicrolutionML-10的特長領(lǐng)域，該解決方案是根據(jù)航空航天業(yè)的需求而設(shè)計(jì)的。其占地面積小，可以有效降低每平方米的生產(chǎn)成本。該機(jī)床內(nèi)嵌光學(xué)相干斷層成像(OCT)系統(tǒng)，允許非接觸式測量、穿透檢測/深度跟蹤、形狀分析和燒蝕實(shí)時(shí)監(jiān)測，眾多益處觸手可得。2）簡化醫(yī)用管材切割的復(fù)雜加工過程使用超快MLTC激光管材切割平臺(tái)可以消除大部分甚至所有的后續(xù)加工步驟。這一用于醫(yī)療設(shè)備行業(yè)及其他應(yīng)用的解決方案的特點(diǎn)是能夠以極高的精度快速準(zhǔn)確地加工金屬和聚合物管材。飛秒激光加工3）實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的邊緣和表面質(zhì)量以及筆直的側(cè)壁創(chuàng)造獨(dú)特的形狀，如負(fù)錐度孔、變形孔（包括圓形入口和橢圓形出口）、星形圖案等。由于該解決方案采用五軸掃描測頭，可以加工出在機(jī)械設(shè)備上不可能實(shí)現(xiàn)的形狀。飛秒激光加工設(shè)備是光、機(jī)、電、自動(dòng)化技術(shù)為一體的綜合科學(xué)，是一種先進(jìn)的智能工具。

飛秒激光是一種激光技術(shù)，其脈沖時(shí)間極短，一般在飛秒（即百萬億分之一秒）量級(jí)。這種極短的脈沖時(shí)間使得飛秒激光在材料加工領(lǐng)域具有獨(dú)特的優(yōu)勢，尤其在對(duì)材料進(jìn)行精細(xì)加工時(shí)表現(xiàn)突出。利用飛秒激光對(duì)碳化硅進(jìn)行打孔和切割可以實(shí)現(xiàn)精密、高效的加工。由于飛秒激光的脈沖時(shí)間極短，它可以在幾乎不引起熱損傷的情況下加工材料，從而避免了碳化硅等難加工材料常見的裂紋和變形問題。同時(shí)，飛秒激光加工的高精度和高靈活性也使得它成為對(duì)碳化硅進(jìn)行微細(xì)加工的理想選擇。飛秒激光加工碳化硅的關(guān)鍵是選擇合適的激光參數(shù)（例如激光功率、脈沖頻率、聚焦方式等），以及適當(dāng)?shù)墓に嚳刂疲ɡ鐨怏w保護(hù)、加工速度等），以確保實(shí)現(xiàn)所需的加工質(zhì)量和精度。此外，后續(xù)的表面處理也可能是必要的，以去除可能形成的氧化物或殘留物，并使加工表面達(dá)到所需的光滑度和質(zhì)量。飛秒激光適用于在各類金屬、非金屬、復(fù)合材料等多種材料上進(jìn)行盲孔/異型孔等結(jié)構(gòu)的可控錐度精細(xì)加工。上海半導(dǎo)體飛秒激光MLCC垂直刀片

飛秒激光的脈沖寬度極短，峰值功率極高，利用飛秒激光加工金屬具有熱影響區(qū)小、加工精度高等優(yōu)點(diǎn)。超精密飛秒激光MLCC

我們的超快激光微加工平臺(tái)，只需簡單裝夾即可滿足對(duì)于單個(gè)噴油嘴上多個(gè)不同尺寸噴孔的需求。設(shè)計(jì)人員可以輕松改變各個(gè)孔的直徑來微調(diào)每個(gè)噴孔所產(chǎn)生的噴霧。擺脫了鉆孔和電火花加工等方法的工藝束縛，從而快速制作噴油器設(shè)計(jì)原型并測試新的燃燒方案。全球?qū)I(yè)GDI噴油嘴廠商多年前就已經(jīng)開始采用飛秒激光加工的這一先進(jìn)制造方案，并通過多次檢測證明通過此方案生產(chǎn)的噴油嘴流量誤差可以控制在1%以內(nèi)。相較其他加工技術(shù)流量誤差在3%以上，飛秒激光技術(shù)所帶來的穩(wěn)定性優(yōu)勢尤為明顯。市面上已經(jīng)出現(xiàn)此類的批量生產(chǎn)機(jī)型，微孔檢測+激光鉆噴孔或機(jī)械鉆盲孔+激光鉆噴孔是該機(jī)型的兩款衍生機(jī)型，滿足客戶的各種工藝需求，是專為GDI大批量生產(chǎn)提供的全自動(dòng)化的交鑰匙解決方案。目前，這些超快激光微孔加工解決方案正在世界各地的工廠工作，協(xié)助汽車制造商生產(chǎn)出高效的噴油器，提高發(fā)動(dòng)機(jī)性能，并滿足管理機(jī)構(gòu)嚴(yán)格的排放要求。超精密飛秒激光MLCC