微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，保證高耐用性和長壽命。二、L型轉(zhuǎn)移閥。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù)。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng)，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長的使用壽命。此外，即使長時(shí)間使用柵極，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力。真空閘閥對(duì)于隔離不同的真空室、控制工藝過程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進(jìn)維護(hù)或維修很重要?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

真空閘閥的維護(hù)保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運(yùn)行和延長使用壽命，需要進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)。以下是一些常見的維護(hù)保養(yǎng)措施：1.定期檢查閥門的密封性能，確保閥瓣和閥座之間的密封良好，防止氣體泄漏。2.定期對(duì)閥門進(jìn)行清洗，去除閥門內(nèi)部的雜質(zhì)和污垢，保持閥門的通暢。3.檢查閥門的驅(qū)動(dòng)裝置，確保其工作正常。對(duì)于電動(dòng)或氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，應(yīng)定期檢查電源或氣源供應(yīng)情況，確保執(zhí)行機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定運(yùn)行。4.對(duì)于長期未使用的閥門，應(yīng)定期進(jìn)行啟閉操作，以防止閥門因長期靜止而出現(xiàn)故障。5.在使用過程中，應(yīng)避免對(duì)閥門施加過大的力矩或沖擊力，以免損壞閥門或影響其密封性能。Diffusion閘閥BUTTERFLY VALVE閘閥體內(nèi)設(shè)一個(gè)與介質(zhì)流向成垂直方向的平面閘板，靠這一閘板的升降來開啟或關(guān)閉介質(zhì)的通路。

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù)。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維護(hù)。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點(diǎn)，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng)，對(duì)溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長的使用壽命。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥的信息，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?/p>

閘閥（gate valve）是一個(gè)啟閉件閘板，閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直，閘閥只能作全開和全關(guān)，不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流。閘閥通過閥座和閘板接觸進(jìn)行密封，通常密封面會(huì)堆焊金屬材料以增加耐磨性，如堆焊1Cr13、STL6、不銹鋼等。閘板有剛性閘板和彈性閘板，根據(jù)閘板的不同，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。閘閥關(guān)閉時(shí)，密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封，即只依靠介質(zhì)壓力將閘板的密封面壓向另一側(cè)的閥座來保證密封面的密封，這就是自密封。大部分閘閥是采用強(qiáng)制密封的，即閥門關(guān)閉時(shí)，要依靠外力強(qiáng)行將閘板壓向閥座， 以保證密封面的密封性。為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動(dòng)閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)旨在避免閥殼處的摩擦。

插板閥保養(yǎng)方法：1.檢查插板閥外觀，確保無損壞、銹蝕或泄漏。2.檢查閥體與管道連接是否牢固。3.檢查閥板運(yùn)動(dòng)是否順暢，無卡澀現(xiàn)象。4.檢查密封件是否完好，如有損壞應(yīng)及時(shí)更換。5.定期對(duì)閥體進(jìn)行清潔，去除污垢和雜質(zhì)。6.檢查并潤滑閥桿和軸承部分。7.檢查電動(dòng)執(zhí)行器（如有）是否正常工作，接線無松動(dòng)。8.檢查閥門開啟和關(guān)閉指示是否準(zhǔn)確。9.按照制造商的推薦周期進(jìn)行有效的維護(hù)保養(yǎng)。定期進(jìn)行有效保養(yǎng)能保證插板閥的正常工作，延長使用壽命。閘閥形體簡單，結(jié)構(gòu)長度短，制造工藝性好，適用范圍廣。Etch閘閥蝶形控制閥

控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE

插板閥，又稱手動(dòng)刀型閘閥。是閘閥的一種。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門，其原理是閘板上開有一個(gè)通徑大小的圓口，通過閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動(dòng)作。此閥門的優(yōu)點(diǎn)在于閥體通徑無凹槽，介質(zhì)不會(huì)卡阻堵塞，并且具有全通徑流通特性，其密封結(jié)構(gòu)可以分軟密封、硬密封結(jié)構(gòu)。穿透式刀閘閥是具有精密構(gòu)造，工藝性好，結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，密封閥座為活動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有防磨損和自動(dòng)補(bǔ)償功能，因而壽命更長。在關(guān)閉和開啟過程中閥座跟閘板一直緊貼運(yùn)動(dòng)，使得閥門啟閉力穩(wěn)定，并且具有切斷介質(zhì)等特點(diǎn)?？刂崎l閥ALUMINUM GATE VALVE