離子源(英文名稱:Ionsource)是使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機(jī)、離子束刻蝕裝置、離子推進(jìn)器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備的不可缺少的部件。氣體放電、電子束對(duì)氣體原子(或分子)的碰撞,帶電粒子束使工作物質(zhì)濺射以及表面電離過程都能產(chǎn)生離子,并被引出成束。根據(jù)不同的使用條件和用途,已研制出多種類型的離子源。使用較廣的有弧放電離子源、PIG離子源、雙等離子體離子源和雙彭源這些源都是以氣體放電過程為基礎(chǔ)的,常被籠統(tǒng)地稱為弧源。高頻離子源則是由氣體中的高頻放電來產(chǎn)生離子的,也有很廣的用途。新型重離子源的出現(xiàn),使重離子的電荷態(tài)明顯提高,其中較成熟的有電子回旋共振離子源(ECR)和電子束離子源(EBIS)。負(fù)離子源性能較好的有轉(zhuǎn)荷型和濺射型兩種。在一定條件下,基于氣體放電過程的各種離子源,都能提供一定的負(fù)離子束流。離子源是一門具有較廣應(yīng)用領(lǐng)域的學(xué)科,在許多基礎(chǔ)研究領(lǐng)域如原子物理、等離子化學(xué)、核物理等研究中,離子源都是十分重要不可缺少的設(shè)備。卷繞鍍膜機(jī)在安裝時(shí)有什么注意事項(xiàng)?江蘇卷繞鍍膜機(jī)性能
通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑?duì)靶面的陽極上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法。基片裝在接地的電極上,絕緣靶裝在對(duì)面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡(luò)和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負(fù)半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負(fù)電,在達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí),靶處于負(fù)的偏置電位,從而使正離子對(duì)靶的濺射持續(xù)進(jìn)行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個(gè)數(shù)量級(jí)。什么是卷繞鍍膜機(jī)概念卷繞鍍膜機(jī)的運(yùn)用領(lǐng)域。
離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術(shù)是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術(shù)的結(jié)合。一種離子鍍系統(tǒng)如圖4[離子鍍系統(tǒng)示意圖],將基片臺(tái)作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時(shí)發(fā)生電離。正離子被基片臺(tái)負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場(chǎng)對(duì)離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對(duì)基片的濺射清洗作用,使膜層附著強(qiáng)度**提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點(diǎn),并有很好的繞射性,可為形狀復(fù)雜的工件鍍膜。光學(xué)鍍膜材料(純度:)高純氧化物一氧化硅、SiO,二氧化鉿、HfO2,二硼化鉿,氯氧化鉿,二氧化鋯、ZrO2,二氧化鈦、TiO2,一氧化鈦、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二鈦、Ti2O3,五氧化三鈦、Ti3O5,五氧化二鉭、Ta2O5,五氧化二鈮、Nb2O5,三氧化二鋁、Al2O3,三氧化二鈧、Sc2O3,三氧化二銦、In2O3,二鈦酸鐠、Pr(TiO3)2,二氧化鈰、CeO2,氧化鎂、MgO,三氧化鎢、WO3,氧化釤、Sm2O3,氧化釹、Nd2O3。
用高能粒子轟擊固體表面時(shí)能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場(chǎng),被束縛在靶表面特定區(qū)域,增強(qiáng)電離效率,增加離子密度和能量,從而實(shí)現(xiàn)高速率濺射。是制備低維度,小尺寸納米材料器件的必備實(shí)驗(yàn)手段,廣泛應(yīng)用于集成電路,光子晶體,低維半導(dǎo)體等領(lǐng)域。主要用于濺射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金屬薄膜,AlN、SiO2等介質(zhì)薄膜。上海卷繞鍍膜機(jī)哪家靠譜?
目前,市場(chǎng)上的真空內(nèi)鍍膜機(jī)只有一個(gè)工作室,其需要經(jīng)過物件安裝、關(guān)閉鐘罩、抽氣、蒸發(fā)、真空處置、排氣、打開鐘罩、取下物件的系列過程,才能完成鍍膜工作;而在這種真空內(nèi)鍍膜機(jī)處于工作狀態(tài)時(shí),工作人員必須堅(jiān)守崗位,注意觀察,把握好鍍膜時(shí)間,并等待下一次操作,這樣浪費(fèi)了人力,工作效率不高。目的是提供工作效率高的一種真空鍍膜機(jī)。一種真空鍍膜機(jī),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。提高了工作效率,同時(shí)工作室與工作室之間互相通連,其空氣在相互排放后,也能減少真空抽氣時(shí)間,節(jié)約了生產(chǎn)成本。上海卷繞鍍膜機(jī)價(jià)格?品質(zhì)卷繞鍍膜機(jī)電話
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近年來各種防曬玻璃、自潔玻璃、保溫隔熱玻璃、防輻射玻璃等等漸漸進(jìn)入消費(fèi)者的視線。其實(shí)這些產(chǎn)品也沒有這么神秘,這些有特異功能的玻璃都是經(jīng)過鍍膜工藝鍍上去的,鍍膜的方式也有很多種,有的玻璃在出廠前就已經(jīng)經(jīng)過鍍膜,有的是后期通過玻璃鍍膜液涂上去的,都能達(dá)到很好的效果。鍍膜玻璃,借用百度百科的介紹就是:鍍膜玻璃(Coatedglass)也稱反射玻璃。鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬、合金或金屬化合物薄膜,以改變玻璃的光學(xué)性能,滿足某種特定要求。鍍膜玻璃按產(chǎn)品的不同特性,可分為以下幾類:熱反射玻璃、低輻射玻璃(Low-E)、導(dǎo)電膜玻璃等。那么用在門窗上的鍍膜玻璃,主要是采用國(guó)際先進(jìn)的磁控真空濺射技術(shù),在門窗玻璃內(nèi)表層鍍上6-20層納米級(jí)金屬化合物薄膜,讓其性能得到長(zhǎng)久有效發(fā)揮。而鍍膜玻璃和普通玻璃對(duì)比的優(yōu)勢(shì)有哪些呢?01有效阻隔太陽能在同樣條件下,室內(nèi)溫度低5~10℃,到達(dá)舒適的時(shí)間減少20%(空調(diào)開),電費(fèi)節(jié)省3%~8%。02不容易沾灰塵普通玻璃室外面很容易就沾上了厚厚的一層灰塵,不時(shí)需要擦洗一遍。而經(jīng)過鍍膜的玻璃,它的表面黏著性差,不管是灰塵還是臟雨水,都很難吸附在玻璃上面,達(dá)到良好的防塵防污效果。江蘇卷繞鍍膜機(jī)性能
無錫光潤(rùn)真空科技有限公司(簡(jiǎn)稱“光潤(rùn)真空”)是從事真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售、制造、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。
光潤(rùn)真空技術(shù)團(tuán)隊(duì)具有20多年真空鍍膜設(shè)備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗(yàn),公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設(shè)備等在國(guó)內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜**設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜**設(shè)備、多弧離子真空鍍膜**設(shè)備等。
公司產(chǎn)品出口法國(guó)、巴基斯坦、越南、印尼、韓國(guó)、泰國(guó)、西班牙、克羅地亞、波蘭、土耳其、巴西、烏克蘭等地。公司堅(jiān)持“表面處理整體解決供應(yīng)商”的經(jīng)營(yíng)戰(zhàn)略,推行“誠(chéng)信、創(chuàng)新、環(huán)?!钡慕?jīng)營(yíng)理念,竭誠(chéng)為國(guó)內(nèi)外用戶服務(wù)。