常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。蒸氣分子平均動能約為~。蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源:用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質(zhì)(圖1[蒸發(fā)鍍膜設(shè)備示意圖])電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高頻感應(yīng)加熱源:用高頻感應(yīng)電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質(zhì);③電子束加熱源:適用于蒸發(fā)溫度較高(不低于2000[618-1])的材料,即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比,具有較高的沉積速率,可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。為沉積高純單晶膜層,可采用分子束外延方法。生長摻雜的GaAlAs單晶層的分子束外延裝置如圖2[分子束外延裝置示意圖]。噴射爐中裝有分子束源,在超高真空下當(dāng)它被加熱到一定溫度時,爐中元素以束狀分子流射向基片。基片被加熱到一定溫度,沉積在基片上的分子可以徙動,按基片晶格次序生長結(jié)晶用分子束外延法可獲得所需化學(xué)計量比的高純化合物單晶膜,薄膜慢生長速度可控制在1單層/秒。卷繞鍍膜機的使用,售后有哪些注意事項?新能源卷繞鍍膜機一體化
以180度力方向迅速拉下膠紙,同一個位置進行3次.實驗工具:刀片,3M膠紙,毛刷.測試結(jié)果:100/100不掉漆,刀口處平整.測試項目二:耐磨耗測試測試程式:采用NORMANRCA耐磨耗儀以及**的紙帶(規(guī)格:11/16inchside*6/8inchdiameter),施加175g負(fù)重,帶動紙帶在樣品的表面磨檫150次.測試工具:RCA紙帶機,毛刷或者棉條.測試結(jié)果:150次(MIX)未發(fā)現(xiàn)涂層破穿.測試項目三:硬度測試測試程式:用1H三菱鉛筆,將筆芯削成5mm的圓柱體,用400目的砂紙磨平后,裝在**的鉛筆硬度測試儀上(負(fù)重1Kg,鉛筆與水平的角度為45度)推動鉛筆向前滑動5mm長度,不同的位置劃3次,每一個位置一次,用橡皮檫清理干凈.測試工具:1H鉛筆,刀具,砂紙,硬度測試儀測試結(jié)果:表面涂層未發(fā)現(xiàn)破損或深入涂層的痕跡.測試項目四:耐醇測試測試程式:用純棉布浸泡酒精(濃度為97%),包在**的500g/cm*cm砝碼上,以40-60次/min的速度,20mm左右的行程,在樣品的表面來回300次.測試工具:白色純棉布,酒精,耐磨測試儀。河北現(xiàn)貨卷繞鍍膜機無錫專業(yè)卷繞鍍膜機供應(yīng)商!
可靈活變化可搭載各種陰極(DC,UBM,DMS,旋轉(zhuǎn)磁石)前處理機能(改善密著性)2.面向量產(chǎn)的磁控濺射卷繞鍍膜機(W50/60S系列)面向量產(chǎn)的磁控濺射卷繞鍍膜機維護性基膜寬:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)磁控濺射區(qū)數(shù):1鍍膜滾筒4個區(qū),分割區(qū)域排氣充實的脫氣機能應(yīng)用例1.透明導(dǎo)電膜(ITO,ZnO等)1)高抵抗ITO膜:面向觸摸屏100~300Ωsq.高方阻ITO的高穩(wěn)定性95℃,1000Hr試驗同時具備柔性和低方阻的高穩(wěn)定性(經(jīng)時變化?。┑姆蔷з|(zhì)ITO膜的鍍膜2)低方阻ITO膜:液晶,有機EL10Ωsq.以下低溫鍍膜所形成的優(yōu)越的方阻率(UBM/BM比較)BM:通常的平常磁場(BalancedMagnetron)在低溫成膜條件下,進行同時具備低方阻(10Ω/□)和柔性的非晶質(zhì)ITO膜的鍍膜。(右邊表格中的數(shù)值為測定案例之一并非為保證值)3)金屬網(wǎng)格:面向觸摸屏Cu網(wǎng)格(銅網(wǎng)格),Ag網(wǎng)格(銀網(wǎng)格),Al網(wǎng)格(鋁網(wǎng)格)層構(gòu)成:密著層,導(dǎo)電層。低反射層(黑化層)2.窗膜(TiO2,SiO2,Ag,ITO,IZO等的層積膜)3.電極膜(Cu,Au,Ag,Al,NiCr,Mo等金屬膜),絕緣膜(SiO2,SiOx,SiN,SiON),DLC面向柔性基材,二次電池,整流器。
產(chǎn)品放置24小時后拿出,在常溫條件放置24小時后觀察外觀并做附著力測試.測試工具:高低溫試驗箱測試結(jié)果:涂層表面無異常,附著力OK測試項目九:高溫保存測試程式;在溫度66度,90%RH的條件下,放置88小時,在常溫條件恢復(fù)24小時,觀察外觀并做附著力測試.測試結(jié)果:涂層外觀無異常,附著力OK測試項目十:冷熱沖擊測試程式:將產(chǎn)品放在溫度沖擊箱中,先在-20度的低溫環(huán)境下保存24小時,在1分鐘內(nèi)將溫度切換到70度的高溫環(huán)境并保存24小時,接著將溫度下調(diào)到-20度低溫,保存24小時.***在1分鐘內(nèi)將溫度切換到70度的高溫環(huán)境保存48小時,時間共120小時.將產(chǎn)品常溫環(huán)境放置24小時觀察涂層外觀并做附著力測試測試工具:高低溫試驗箱測試結(jié)果:涂層外觀無異常,附著力OK測試項目十一:耐鹽霧測試測試程式:將產(chǎn)品放入鹽霧試驗機中,NaCl濃度為5%,測試時間168小時,將產(chǎn)品常溫環(huán)境放置24小時,觀察涂層外觀并做附著力測試測試工具:鹽霧機測試結(jié)果:涂層外觀無異常,附著力OK。說明:1.涂層異常指:涂層發(fā)白起霧,受損,起皺等;2.附著力:重復(fù)測試一程式超級耐磨面漆:,耐磨耗350次(MIX)。無錫卷繞鍍膜機哪家靠譜?
在大面積基板上可制取均勻薄膜,放電電流隨壓強和電壓的改變而變化;2)三極或四極濺射。可實現(xiàn)低氣壓,低電壓濺射,可**控制放電電流和轟擊靶的離子能量。可控制靶電流,也可進行射頻濺射;3)磁控濺射(或高速,低溫濺射)。在與靶表面平行的方向上施加磁場,利用電場與磁場正交的磁控管原理,減少電子對基板的轟擊,實現(xiàn)高速低溫濺射;4)對向靶濺射。兩個靶對向放置,在垂直于靶的表面方向加磁場,可以對磁性材料等進行高速低溫濺射;5)射頻濺射。為制取絕緣薄膜,如氧化硅,氧化鋁,玻璃膜等而研制,也可濺射金屬;6)反應(yīng)濺射??芍谱麝帢O物質(zhì)的化合物薄膜,如氮化鈦,碳化硅,氮化鋁,氧化鋁等;7)偏壓濺射。鍍膜過程中同時***基片上輕質(zhì)量的帶電粒子,從而使基板中不含有不純氣體;8)非對稱交流濺射。在振幅大的半周期內(nèi)對靶進行濺射,在振幅小的半周期內(nèi)對基片進行離子轟擊,***吸附的氣體,以獲得高純薄膜;9)離子束濺射。在高真空下,利用離子束濺射鍍膜,是非等離子體狀態(tài)下的成膜過程。靶接地電位也可;10)吸氣濺射。利用對濺射粒子的吸氣作用,除去不純物氣體,能獲得純度高的薄膜。3.離子鍍膜離子鍍膜技術(shù)是美國桑迪亞公司的。西安卷繞鍍膜機哪家功能多?黑龍江自動卷繞鍍膜機
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磁控濺射卷繞鍍膜機磁控濺射的構(gòu)成例(W35系列)對樹脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控濺射方法形成透明導(dǎo)電膜(ITO,ZnO等)?光學(xué)膜(SiO2,SiOx,NbOx等)鍍膜的磁控濺射卷繞鍍膜機。磁控濺射法,采用各種陰極(DC,UBM,DMS,旋轉(zhuǎn)磁石),進行觸摸屏?FPD?太陽能電池?窗膜等所必須的透明導(dǎo)電膜(TCO)?光學(xué)膜?氧化膜?金屬膜的鍍膜。聚集了從面向R&D?實驗性生產(chǎn)的小型裝置到面向?qū)挿?大型卷繞鍍膜機,對應(yīng)柔性電子?能源領(lǐng)域的研究開發(fā)直到量產(chǎn)的需求。特征1.可搭載各種陰極1)UBMS(非平衡磁控濺射)根據(jù)非平衡磁場增大基材附近的等離子密度。膜表面的能量輔助效果使得薄膜特性提高。BM和UBM的比較2)DMS(雙磁石磁控濺射)在鍍絕緣膜等反應(yīng)性磁控濺射鍍膜時,將2臺磁控濺射蒸發(fā)源交替放電,實現(xiàn)長時間穩(wěn)定放電?高速鍍膜。3)旋轉(zhuǎn)磁石利用圓柱靶的圓周,提高材料效率。通過投入高能量實現(xiàn)高速鍍膜。可以DMS化。2.前處理機能通過脫氣,離子源照射?等離子照射實現(xiàn)密著性改善機能。裝置陣容1.面向R&D?實驗性生產(chǎn)的卷繞鍍膜機(W35系列)面向R&D?實驗性生產(chǎn)的卷繞鍍膜機(W35系列)小型?節(jié)省空間基膜寬度:350mm。新能源卷繞鍍膜機一體化
無錫光潤真空科技有限公司(簡稱“光潤真空”)是從事真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、銷售、制造、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。
光潤真空技術(shù)團隊具有20多年真空鍍膜設(shè)備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗,公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設(shè)備等在國內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設(shè)備、蒸發(fā)鍍膜**設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜**設(shè)備、多弧離子真空鍍膜**設(shè)備等。
公司產(chǎn)品出口法國、巴基斯坦、越南、印尼、韓國、泰國、西班牙、克羅地亞、波蘭、土耳其、巴西、烏克蘭等地。公司堅持“表面處理整體解決供應(yīng)商”的經(jīng)營戰(zhàn)略,推行“誠信、創(chuàng)新、環(huán)保”的經(jīng)營理念,竭誠為國內(nèi)外用戶服務(wù)。