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單極型溫度傳感器測(cè)試

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-08-29

如今,溫度傳感器在精確測(cè)量和自動(dòng)控制領(lǐng)域扮演著重要角色,為了能夠滿(mǎn)足實(shí)時(shí)、在線測(cè)量,對(duì)溫度傳感器進(jìn)行動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)顯得十分關(guān)鍵。在一些高精尖領(lǐng)域,當(dāng)高超聲速飛行器邊界層轉(zhuǎn)捩時(shí)的溫度變化為微秒級(jí),掌握該變化直接關(guān)系到如何設(shè)計(jì)其熱防護(hù)層。此外,在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片和激光武器的設(shè)計(jì)中也有同樣的需求。傳統(tǒng)的測(cè)量技術(shù),如水浴法、火焰法和熱風(fēng)洞法,只適用于時(shí)間常數(shù)在毫秒量級(jí)的溫度傳感器的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn),激波管法和單脈沖激光法的重復(fù)性和穩(wěn)定性也無(wú)法真正達(dá)到動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)的要求。我國(guó)至今仍未出現(xiàn)成熟的微秒級(jí)溫度傳感器動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)技術(shù),進(jìn)而限制了動(dòng)態(tài)測(cè)溫技術(shù)的進(jìn)步。當(dāng)需要更換某個(gè)傳感器時(shí),只要測(cè)量與之串聯(lián)電阻的阻值,然后選用和它阻值接近的傳感器即可。單極型溫度傳感器測(cè)試

搭載有邁來(lái)芯MLX90614遠(yuǎn)紅外溫度傳感器,能十分靈敏地顯示電飯煲當(dāng)前的溫度。當(dāng)需要掌握鍋內(nèi)食物的溫度變化時(shí),這個(gè)功能就派上大用場(chǎng)了,可以避免溫度過(guò)高導(dǎo)致食物營(yíng)養(yǎng)流失,烹煮出來(lái)的米飯、水蛋、海鮮粥甚至蛋糕既美味又營(yíng)養(yǎng),一家老小都十分愛(ài)吃。作為邁來(lái)芯MLX90614遠(yuǎn)紅外溫度傳感器在家用電器領(lǐng)域的典型應(yīng)用,這款新型電飯煲的工作原理是,當(dāng)米和水置于電飯煲的內(nèi)膽時(shí),線圈會(huì)通過(guò)感應(yīng)加熱(IH)來(lái)提升內(nèi)膽溫度并釋放紅外(IH)輻射。隨著溫度逐漸升高,紅外輻射量也會(huì)不斷增加。此時(shí),電飯煲內(nèi)的遠(yuǎn)紅外溫度傳感器會(huì)對(duì)視野(FOV)范圍內(nèi)的紅外輻射進(jìn)行測(cè)量,并將測(cè)得的紅外輻射轉(zhuǎn)化為溫度并以數(shù)字形式顯示,使用起來(lái)十分方便。東莞超大規(guī)模溫度傳感器精度哪家好深圳市美信美科技有限公司,只做原裝進(jìn)口溫度傳感器。

電池管理系統(tǒng)(BMS),在整個(gè)安全系統(tǒng)中充當(dāng)了類(lèi)似于“大腦”的角色,它能夠?qū)崟r(shí)估測(cè)電池的荷電狀態(tài),檢測(cè)電池的使用狀態(tài),同是能對(duì)電池進(jìn)行直接的管控。對(duì)“大腦”而言,收到的反饋信息越多越詳細(xì),作出的決策也自然越準(zhǔn)確。所以,溫度傳感器不僅要數(shù)量合適,且精密度要高。因?yàn)橹挥羞@樣反饋的數(shù)據(jù)才能更加各方面,BMS對(duì)電池的判斷才會(huì)更加準(zhǔn)確。BMS中溫度傳感器的作用與傳統(tǒng)燃油車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)冷卻液中溫度傳感器作用和原理是相似的,即根據(jù)陶瓷半導(dǎo)體材料的電阻值隨溫度變化特性制作而成,用與檢查車(chē)載蓄電池溫度。按照電阻熱敏性質(zhì)可分為負(fù)溫度系數(shù)型(NTC)和正溫度系數(shù)型(PTC)兩類(lèi)。BMS中使用的是NTC熱敏電阻。

    溝槽的寬度為溝槽側(cè)壁的大距離,如果溝槽為圓形,則溝槽的寬度為其直徑,如果溝槽為正方形,則溝槽的寬度為其對(duì)角的距離。步驟s120:熱退火使所述若干溝槽變形后相互連通形成一空腔,且所述硅片在空腔上方連接起來(lái),將所述空腔封閉。對(duì)開(kāi)設(shè)有溝槽21的硅片20進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚?,?dāng)硅片被加熱到一定溫度時(shí),硅原子的振動(dòng)能較大,導(dǎo)致原子的移動(dòng)能加強(qiáng),硅原子會(huì)發(fā)生遷移。由于硅片上開(kāi)設(shè)有溝槽,且溝槽側(cè)壁的間距較小,當(dāng)硅原子遷移運(yùn)動(dòng)達(dá)到一定程度時(shí),硅原子會(huì)進(jìn)入溝槽21內(nèi),硅片內(nèi)部的溝槽21會(huì)發(fā)生形變,溝槽21上部被硅封閉,若干溝槽21中間部位相互連通,形成一空腔22(如圖2b所示)。即空腔22處于硅片的中間,空腔22的上部和下部均具有硅結(jié)構(gòu),上下硅結(jié)構(gòu)被空腔22隔離開(kāi)。在一實(shí)施例中,熱退火的溫度可為1000℃。改變溝槽21的間距,可以得到不同形態(tài)的空腔,且間距越大,所需的退火溫度就越高,但是退火的持續(xù)時(shí)間不超過(guò)20min。在本實(shí)施例中,溝槽陣列中溝槽之間的間距大于內(nèi)部溝槽的間距,如此可以避免在空腔邊緣處形成缺口。同時(shí),熱退火需要在一隔離環(huán)境中進(jìn)行,如真空環(huán)境或者惰性氣體環(huán)境,保證在熱退火過(guò)程中硅不會(huì)與環(huán)境中的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在本實(shí)施例中。由于大多數(shù)傳感器的選擇在溫度范圍和精度上有重疊,因此傳感器的選擇將取決于如何將其集成到一個(gè)系統(tǒng)中。

常見(jiàn)的模擬溫度傳感器有LM3911、LM335、LM45、AD22103電壓輸出型、AD590電流輸出型。AD590是美國(guó)模擬器件公司的電流輸出型溫度傳感器,供電電壓范圍為3~30V,輸出電流223μA(-50℃)~423μA(+150℃),靈敏度為1μA/℃。當(dāng)在電路中串接采樣電阻R時(shí),R兩端的電壓可作為輸出電壓。注意R的阻值不能取得太大,以保證AD590兩端電壓不低于3V。AD590輸出電流信號(hào)傳輸距離可達(dá)到1km以上。作為一種高阻電流源,比較高可達(dá)20MΩ,所以它不必考慮選擇開(kāi)關(guān)或CMOS多路轉(zhuǎn)換器所引入的附加電阻造成的誤差。適用于多點(diǎn)溫度測(cè)量和遠(yuǎn)距離溫度測(cè)量的控制。溫度傳感器廠家就找美信美。太原排氣溫度傳感器

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    利用金屬鉑在溫度變化時(shí)自身電阻值也會(huì)隨著溫度改變的特性來(lái)測(cè)量溫度,溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接,顯示儀表會(huì)顯示受溫度影響得到的鉑電阻對(duì)應(yīng)的溫度值。通常,形成測(cè)溫單元還包括鈍化步驟,即,步驟s133:在金屬層上形成鈍化層,并在鈍化層上對(duì)應(yīng)所述溫度傳感器引出輸出端子處設(shè)有通孔。因上述熱電阻傳感器中上層有金屬結(jié)構(gòu)如金屬鋁和金屬鉑,對(duì)于直接暴露在空氣中時(shí)容易氧化的金屬層,其上還形成一層鈍化層,可對(duì)金屬層進(jìn)行保護(hù)。同時(shí),需要在對(duì)應(yīng)溫度傳感器引出端子處開(kāi)設(shè)通孔,通過(guò)通孔可引出輸出端子。在本實(shí)施例中,是在兩端的金屬鋁上方的鈍化層開(kāi)設(shè)通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層,也可為疊設(shè)的氧化硅層和氮化硅層。在一實(shí)施例中,測(cè)溫單元為一熱電偶傳感結(jié)構(gòu),其具體形成過(guò)程為:步驟s134:在所述氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層,所述多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。如圖5和圖6所示,在氧化硅薄膜23上淀積一層多晶硅層50,該多晶硅層50包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條51和p型多晶硅條52。n型多晶硅可為在多晶硅內(nèi)部摻雜ⅴ族元素形成導(dǎo)電類(lèi)型為n型的多晶硅,且其內(nèi)部摻雜均勻。單極型溫度傳感器測(cè)試

深圳市美信美科技有限公司正式組建于2020-04-17,將通過(guò)提供以半導(dǎo)體微芯等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。旗下亞德諾,凌特在電子元器件行業(yè)擁有一定的地位,品牌價(jià)值持續(xù)增長(zhǎng),有望成為行業(yè)中的佼佼者。隨著我們的業(yè)務(wù)不斷擴(kuò)展,從半導(dǎo)體微芯等到眾多其他領(lǐng)域,已經(jīng)逐步成長(zhǎng)為一個(gè)獨(dú)特,且具有活力與創(chuàng)新的企業(yè)。公司坐落于深圳市福田區(qū)華強(qiáng)北街道華航社區(qū)深南大道3018號(hào)世紀(jì)匯22層2209,業(yè)務(wù)覆蓋于全國(guó)多個(gè)省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進(jìn)一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟(jì)、社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。

標(biāo)簽: 溫度傳感器 集成電路