可以利用多重的內框結構，例如回字型的內框結構來加強結構強度。所謂的回字型，就是內框內還有內框的結構。在一實施例當中，多重的內框結構可以是同心的，以便簡化設計。在另一實施例當中，多重的內框結構的框的寬度是相同的。在更一實施例當中，大內框結構與小內框結構的形狀可以是相應的。舉例來說，大內框結構與小內框結構的形狀可以是相同的，但大小不同。框的寬度可以與內框結構的大小成比例。在一實施例當中，可以具有兩個以上的多重內框結構。請參考圖11b所示，其為根據本申請一實施例的半導體基板的結構的剖面1100的一示意圖。圖11b所示的實施例，為回字型的內框結構，就是內框內還有內框的多重內框結構。本申請所欲保護的技術特征在于，晶圓層的邊框結構的內部至少具有一個或多重內框結構，用于加強該一個或多重內框結構內部的結構，本申請并不限定內框結構的個數。請參考圖12所示，其為根據本申請一實施例的半導體基板的結構的剖面1200的一示意圖。該結構的剖面1200可以是圖10a所示結構1000的dd線剖面。本領域普通技術人員可以透過圖12理解到，本申請并不限定該樹酯層1040a與1040b外緣的形狀，其可以是正方形、矩形、橢圓形、圓形。西安怎么樣半導體晶圓?汕頭半導體晶圓誠信經營

    氣穴振蕩是一種混沌現象?？栈瘹馀莸漠a生及其破裂受到很多物理參數的影響。這些猛烈的氣穴振蕩例如不穩(wěn)定的氣穴振蕩或微噴射將損傷這些圖案結構(鰭結構、槽和通孔)。在傳統的超聲波或兆聲波清洗過程中，只有當功率足夠高，例如大于5-10瓦時，才會產生***的顆粒去除效率(“pre”)。然而，當功率大于約2瓦時，晶圓開始有明顯的損傷。因此，很難找到功率窗口使得晶圓在被有效清洗時避免重大的損傷。因此，維持穩(wěn)定或可控的氣穴振蕩是控制聲波機械力低于損傷限度而仍然能夠有效地去除圖案結構中的雜質顆粒的關鍵。因此，提供一種系統和方法，用于控制在晶圓清洗過程中由超聲波或兆聲波設備產生的氣泡氣穴振蕩，以便能夠有效地去除細小的雜質顆粒，而不會損傷晶圓上的圖案結構。技術實現要素：本發(fā)明提出一種清洗半導體晶圓的方法，包括在清洗過程中輸送清洗液到半導體晶圓表面；在該清洗過程中通過聲波換能器向清洗液傳遞聲能，以在***預定時段以***預定設置及在第二預定時段以第二預定設置交替向聲波換能器供電，其中，清洗液中的氣泡氣穴振蕩在***預定時段內增大，在第二預定時段內減小，***預定時段和第二預定時段連續(xù)的一個接著一個，因此。咸陽12英寸半導體晶圓代工安徽半導體晶圓制作流程。

    清洗液中的氣泡可以在每次***時段的清洗后充分冷卻，以避免損傷晶圓。根據以下實施例的詳細描述，本發(fā)明的其他方面、特征及技術對于本領域的技術人員將是顯而易見的。附圖說明構成本說明書一部分的附圖被包括以描述本發(fā)明的某些方面。對本發(fā)明以及本發(fā)明提供的系統的組成和操作的更清楚的概念，通過參考示例將變得更加顯而易見，因此，非限制性的，在附圖中示出的實施例，其中類似的附圖標記(如果它們出現在一個以上的視圖)指定相同的元件，通過參考這些附圖中的一個或多個附圖并結合本文給出的描述，可以更好地理解本發(fā)明，應當注意，附圖中示出的特征不是必須按比例繪制。圖1a至圖1b揭示了根據本發(fā)明的一個實施例的使用超聲波或兆聲波裝置的晶圓清洗裝置。圖2a至圖2g揭示了不同形狀的超聲波或兆聲波換能器。圖3揭示了在晶圓清洗過程中氣泡內爆。圖4a至圖4b揭示了在晶圓清洗過程中不穩(wěn)定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結構。圖5a至圖5c揭示了在聲波清洗晶圓過程中氣泡內部熱能變化。圖6a至圖6c揭示了在聲波清洗晶圓過程中**終發(fā)生微噴射。圖7a至圖7e揭示了根據本發(fā)明的一個實施例的聲波晶圓清洗工藝。圖8a至圖8d揭示了根據本發(fā)明的另一個實施例的聲波晶圓清洗工藝。

    請參考圖10a所示，其為根據本申請一實施例的半導體基板的結構1000的剖面示意圖。和圖9所示的實施例不同之處，在于該結構1000包含了金屬層1010與樹酯層1040。為了減薄在邊框結構與內框結構之間的金屬層810，可以在上述區(qū)域中使用較厚的樹酯層1040來替換掉金屬層1010的金屬。和圖9所示的結構900相比，該金屬層1010的第四表面1014與該晶圓層820的***表面821的**短距離，要小于該金屬層810的第四表面與該晶圓層820的***表面的**短距離。由于該結構1000的金屬層1010的大部分比該結構900的金屬層810的大部分較薄，因此可以節(jié)省金屬本身的成本，也可以節(jié)省制作該金屬層810的步驟的成本。請參考圖10b所示，其為根據本申請一實施例的半導體基板的結構1000的剖面示意圖。圖10b所示的實施例是圖10a所示實施例的一種變形。和圖10a的金屬層1010相比，圖10b所示實施例的金屬層1010比較厚。圖10b所示實施例的其余特征均與圖10a所示實施例相同。請參考圖11a所示，其為根據本申請一實施例的半導體基板的結構的剖面1100的一示意圖。該結構的剖面1100可以是圖8a所示結構800的cc線剖面，也可以是圖9所示結構900的cc線剖面，還可以是圖10b所示結構1000的dd線剖面。為了方便說明起見。浙江12英寸半導體晶圓代工。

    然后采用sems處理晶圓的截面檢測10片晶圓上通孔或槽的清洗狀態(tài)，數據如表3所示。從表3可以看出，對于#6晶圓，τ1＝32τ10，清洗效果達到**佳點，因此**佳時間τ1為32τ10。表3如果沒有找到峰值，那么設置更寬的時間τ1重復步驟一至步驟四以找到時間τ1。找到**初的τ1后，設置更窄的時間范圍τ1重復步驟一至步驟四以縮小時間τ1的范圍。得知時間τ1后，時間τ2可以通過從512τ2開始減小τ2到某個值直到清洗效果下降以優(yōu)化時間τ2。詳細步驟參見表4，從表4可以看出，對于#5晶圓，τ2＝256τ10，清洗效果達到**優(yōu)，因此**佳時間τ2為256τ10。表4圖21a至圖21c揭示了根據本發(fā)明的另一個實施例的清洗工藝。該清洗工藝與圖20a-20d所示的相類似，不同在于該實施例中即使氣泡達到了飽和點rs，電源仍然打開且持續(xù)時間為mτ1，此處，m的值可以是，推薦為2，取決于通孔和槽的結構以及所使用的清洗液?？梢酝ㄟ^類似圖20a-20d所示的方法通過實驗優(yōu)化m的值。圖22a至22b揭示了根據本發(fā)明的利用聲能清洗晶圓的一個實施例。在時間段τ1內，以聲波功率p1作用于清洗液，當***個氣泡的溫度達到其內爆溫度點ti，開始發(fā)生氣泡內爆，然后，在溫度從ti上升至溫度tn(在時間△τ內)的過程中。半導體晶圓推薦咨詢??成都半導體晶圓誠信推薦

進口半導體晶圓產品的價格。汕頭半導體晶圓誠信經營

    并均勻地到達位于腔室c內的半導體晶圓200。在實際應用中，半導體晶圓干燥設備100包含多個微波產生器130。一般而言，微波產生器130平均地環(huán)繞腔室c分布，如此一來，微波w可均勻地進入腔室c內，并均勻地到達位于腔室c內的半導體晶圓200，從而促進半導體晶圓200的干燥過程。舉例而言，如圖1所示，至少兩個微波產生器130平均地分布于殼體120外側，使其平均地環(huán)繞腔室c分布。另外，應當理解的是，本發(fā)明的殼體120基本上可設置于產業(yè)中現有的單晶圓濕處理設備(圖未示)上。一般而言，單晶圓濕處理設備具有旋轉基座，其用以承載單一片半導體晶圓，以于單晶圓濕處理設備內對半導體晶圓進行各種處理。經單晶圓濕處理設備處理后，半導體晶圓可被留在旋轉基座上，并且可將本發(fā)明的殼體120以及設置于其上的微波產生器130設置于單晶圓濕處理設備的旋轉基座上，從而能執(zhí)行前文所述的半導體晶圓干燥過程。請參照圖2，其為依據本發(fā)明另一實施方式的半導體晶圓干燥設備100的剖視圖。在本實施方式中，如圖2所示，半導體晶圓干燥設備100進一步包含旋轉器140。旋轉器140連接基座110，并且被配置成旋轉基座110。于半導體晶圓干燥設備100對半導體晶圓200執(zhí)行干燥處理的期間。汕頭半導體晶圓誠信經營

昆山創(chuàng)米半導體科技有限公司是一家半導體科技領域內的技術開發(fā)、技術咨詢、技術轉讓；半導體設備、半導體材料、電子設備、機械設備及配件、機電設備、太陽能光伏設備、太陽能電池及組件、電子產品、電子材料、針紡織品、玻璃制品、五金制品、日用百貨、勞保用品、化工產品及原料（不含危險化學品及易制毒化學品）的銷售；貨物及技術的進出口業(yè)務。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動） 許可項目：廢棄電器電子產品處理（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動，具體經營項目以審批結果為準） 一般項目：固體廢物治理；非金屬廢料和碎屑加工處理；再生資源回收（除生產性廢舊金屬）；電子元器件與機電組件設備銷售；電力電子元器件銷售；電子設備銷售（除依法須經批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動）的公司，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務實、誠實可信的企業(yè)。創(chuàng)米半導體深耕行業(yè)多年，始終以客戶的需求為向導，為客戶提供高質量的晶圓，wafer，半導體輔助材料，晶圓盒。創(chuàng)米半導體始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團隊取得成功。創(chuàng)米半導體始終關注自身，在風云變化的時代，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使創(chuàng)米半導體在行業(yè)的從容而自信。