復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
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用風(fēng)罩法測量風(fēng)量①用風(fēng)量罩測定各風(fēng)口風(fēng)速時,其相應(yīng)的出風(fēng)風(fēng)速為Vs=As。Vs------各終端過濾器或送風(fēng)散流器的平均送風(fēng)風(fēng)速m/s;Qs------各終端過濾器或送風(fēng)散流器的送風(fēng)量m3/s;As------送風(fēng)口出風(fēng)面積m2。②單向流-層流潔凈室單向流潔凈室采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,其中垂直單向流層流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的水平截面,水平單向流層流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直截面,截面上測點間距不應(yīng)大于2m,測點數(shù)應(yīng)不少于10個,均勻布置儀器用熱球風(fēng)速儀。③測定風(fēng)管內(nèi)風(fēng)量對于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長的支管段,且已經(jīng)或可以打孔時,可以用風(fēng)管法確定風(fēng)量,測定斷面距局部阻力部件距離在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長度。對于矩形風(fēng)管,將測定截面分成若干個相等的小截面,每個小截面盡可能接近正方形邊長,不大于200mm測點,設(shè)于小截面中心,但整個截面上的測點數(shù)不宜少于3個。對于圓形風(fēng)管,應(yīng)該按等面積圓環(huán)法劃分測定截面和確定測點數(shù)。具體可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)管法測量風(fēng)量的方法進行。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測潔凈室(CleanRoom),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。
潔凈室竣工驗收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機、凈化空調(diào)機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6送、回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。
潔凈空調(diào)與一般空調(diào)的區(qū)別潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風(fēng)工程的設(shè)計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設(shè)計、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價也相應(yīng)提高。主要參數(shù)控制一般空調(diào)側(cè)重溫度、濕度、新鮮空氣量的供給,而潔凈室空調(diào)則側(cè)重控制室內(nèi)空氣的含塵量、風(fēng)速、換氣次數(shù)。在溫濕度有要求的房間,它們也是主要控制參數(shù)。生物潔凈室對細菌含量也是主要的控制參數(shù)之一。空氣過濾手段一般空調(diào)有的只有粗效一級過濾,要求較高的是粗效中效二級過濾處理。而潔凈空調(diào)則要求三級過濾,即粗、中、高效三級過濾或粗、中、亞高效三級過濾。生物潔凈室除送風(fēng)系統(tǒng)有三級過濾外,在排風(fēng)系統(tǒng)為了消除動物的特殊臭味及避免對環(huán)境的污染,依據(jù)不同情況尚設(shè)二級高效過濾或濾毒吸附過濾。動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。
溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。服務(wù)方面:一對一客服,檢測、檢驗、分析一站式服務(wù)。安徽潔凈室檢測哪家好
各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。生物安全柜檢測值得推薦
如何維持良好的壓差穩(wěn)定性1、定期更換新風(fēng)濾網(wǎng),以減少新風(fēng)濾網(wǎng)堵塞造成的壓差降低。2、定期更換初效、中效過濾器,以減少送風(fēng)量的波動帶來的壓差混亂。3、不要頻繁地開門、關(guān)門,以免自控系統(tǒng)反復(fù)調(diào)節(jié)出現(xiàn)失靈和壓差紊亂。4、減少每次開、關(guān)門時間,以免出現(xiàn)風(fēng)量泄漏、壓差降低超過系統(tǒng)的調(diào)節(jié)圍。5、關(guān)門必須關(guān)嚴(yán),否則漏風(fēng)量過大,會造成壓差混亂。6、使用自動門,可以設(shè)定開門時間、保持時間、關(guān)門時間,保證壓差不受到很大的波動影響。7、定期檢查每一個門的密封性。8、定期檢查現(xiàn)場的壓差裝置及顯示數(shù)據(jù)。9、隨時監(jiān)控在線壓差顯示系統(tǒng)的數(shù)據(jù),隨時了解現(xiàn)場發(fā)生的狀況,并及時提醒操作人員注意壓差的穩(wěn)定保持。生物安全柜檢測值得推薦
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