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電子廠房環(huán)境檢測技術好

來源: 發(fā)布時間:2023-05-28

定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。原理:亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別)。特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)(1)自凈時間:是指潔凈室按設計換氣次數(shù)開始送風到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)(2)換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間,或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞。電子廠房環(huán)境檢測技術好

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1、高效過濾器完整性

a)生物安全柜檢測的風機和燈,去掉過濾器的散流裝置和保護蓋。安放氣溶膠發(fā)生器,將氣溶膠導入安全柜,產(chǎn)生均勻分布的高效過濾器上游氣流。

b)打開氣溶膠光度計,進行調(diào)整;對含有氣溶膠的高效過濾器上游氣流進行測試,至少應有20ug/L PAO 。

c)光度計探頭在過濾器下游距過濾器表面不超過25mm,以小于50mm/s的掃描速率移動,使探頭掃測過濾器的整個下游一側和每個組合過濾片的邊緣,掃測路線應略微重疊。

2、噪聲

a)打開安全柜的風機和照明燈,在安全柜前面中心水平向外300mm、工作臺面上方380mm處測量噪聲;

b)關閉安全柜的風機和照明燈,如果有室外排氣風機,讓其繼續(xù)運行,在相同位置測量背景噪聲。 檢測方便客戶按氣流組織分類,潔凈室可分為三類:單向流、層流、潔凈室。

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FFU英文全稱為(Fan Filter Unit),中文專業(yè)用語為風機過濾機組。 FFU風機濾網(wǎng)機組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和局部百級等應用場合。

FFU設有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。適用于在各種環(huán)境中獲得高級別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動,也可降低造價,安裝維護方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。

空氣過濾器的泄露1、儀器設備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。3、技術要求檢漏的結果要符合條件:由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。

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3、照度

a)在工作臺面上,沿工作臺面兩內(nèi)側壁中心連線設置照度測量點,測量點之間的距離不超過300mm,與側壁距離為150mm;

b)關掉安全柜的燈,從一側起依次在測量點進行背景照度測量。平均背景照度應在110lx±50lx;

4、下降氣流流速

在工作區(qū)上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上確定測量點位置,多點測量穿過該平面的下降氣流流速;

a)測量點等距分布,形成的正方形柵格不大于150mm×150mm,測試點**少應有3排,每排**少應有7個測量點;

b)測試區(qū)域邊界與安全柜的內(nèi)壁及前窗操作口的距離應為150mm。

5、流入氣流流速

測量排氣氣流流速確定流入氣流流速(適于Ⅱ級A1、A2型安全柜)

a)用熱式風速儀多點測量穿過排氣過濾器面的氣流流速,測量點為不大于100mm×100mm的柵格點,邊界點距過濾器邊緣100mm,測量面與過濾器面的距離約100mm;

b)計算各測點排氣流速平均值即為平均排氣流速(m/s),平均排氣流速乘以排氣面積(m2),得到排氣流量(m3/s);

c)排氣流量(m3/s)除以前窗操作口面積(m2),得到平均流入氣流流速(m/s); 空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。廣東潔凈室環(huán)境檢測

一般空調(diào)系統(tǒng)對系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求。電子廠房環(huán)境檢測技術好

潔凈手術部的建筑裝飾應遵循不產(chǎn)塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉、容易清潔和負荷防火要求的總原則。

潔凈手術部內(nèi)地面應平整,采用耐磨、防滑、耐腐蝕、易清洗、不易起塵與不開裂的材料制作。有特殊要求的,可采用有特殊性能的涂料地面。

潔凈手術部內(nèi)部墻面應使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料,墻面必須平整,防潮防霉,Ⅰ、Ⅱ級潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板;Ⅲ、Ⅳ級潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料,縫隙均應抹平。

潔凈手術部內(nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面;踢腳必須與地面成一整體;踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。

潔凈手術部內(nèi)墻體轉角和門的豎向側邊的陽角應為圓角。通道兩側及轉角處墻上應設防撞板。

室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

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