10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)人必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)，5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無(wú)塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。浙江壓差無(wú)塵室檢測(cè)方法

16.4.22臭氧濃度的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時(shí)，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下，檢測(cè)室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測(cè)應(yīng)符合下列規(guī)定：當(dāng)對(duì)新風(fēng)效果作細(xì)致確認(rèn)時(shí)，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行、室內(nèi)處于動(dòng)態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測(cè)室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當(dāng)需要測(cè)定分子態(tài)污染物濃度時(shí)，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗(yàn)方商定的方法檢測(cè)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求或雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)。上海溫濕度無(wú)塵室檢測(cè)方法在未來(lái)，隨著科技的不斷推進(jìn)，無(wú)塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用。

11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上；現(xiàn)場(chǎng)除正常照明外，應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場(chǎng)前，應(yīng)徹底清潔，并應(yīng)檢查有無(wú)脫屑、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面，設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級(jí)別區(qū)域時(shí)，穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封，并應(yīng)裝飾處理。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

12.2.1排煙管道的安裝試驗(yàn)應(yīng)符合本規(guī)范第5章的有關(guān)規(guī)定。12.2.2排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風(fēng)道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應(yīng)平整。12.2.4送風(fēng)口、排煙口的固定應(yīng)可靠，表面應(yīng)平整、無(wú)變形、調(diào)節(jié)靈活。排煙口距可燃物或可燃構(gòu)件的距離不應(yīng)小于1.5m。排煙口安裝時(shí)不應(yīng)影響防倒灌設(shè)施正常發(fā)揮作用。排煙口應(yīng)安裝板式排煙口，不應(yīng)漏風(fēng)。12.2.5排煙風(fēng)機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)**排煙風(fēng)機(jī)設(shè)在混凝土或鋼架基礎(chǔ)上時(shí)可不設(shè)減振裝置；若需設(shè)置減振裝置，則不應(yīng)使用橡膠減振裝置。2排煙風(fēng)機(jī)宜安裝在該系統(tǒng)比較高排煙口之上，并宜安在機(jī)房?jī)?nèi)，機(jī)房與相鄰部位隔墻應(yīng)符合防火要求。在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。上海溫濕度無(wú)塵室檢測(cè)方法

一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。浙江壓差無(wú)塵室檢測(cè)方法

2.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過(guò)控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。浙江壓差無(wú)塵室檢測(cè)方法