6.2.1氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件,應按設計要求選配,如設計未作明確要求,選用時應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應,并應符合下列規(guī)定:1應使用無縫管材。2管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。3管材內(nèi)表面應光滑、耐磨損。4應具有良好的抗腐蝕性能。5管材金屬組織在焊接處理時不應發(fā)生變化。6負壓管道不宜采用普通碳鋼管。6.2.2所用管材應放在室內(nèi)保管,不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。6.2.3成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。在額定風量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。江蘇風速無塵室檢測規(guī)范性強
15.1.1承擔潔凈室施工的單位應按本規(guī)范的相關(guān)規(guī)定,建立質(zhì)量管理體系。15.1.2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經(jīng)歷,明確的分工和職責。15.1.3特殊工種作業(yè)人員應持證上崗。15.1.4施工單位應編制施工組織設計,制定具體工程的施工程序,并按程序?qū)κ┕と^程實行質(zhì)量控制。15.1.5施工過程中,不得違反設計文件擅自改動系統(tǒng)、參數(shù)、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時,應經(jīng)原設計單位確認、簽字,并得到建設單位的同意,在通知監(jiān)理方之后執(zhí)行。15.1.6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程序,都應采用文件形式確認。為施工安裝的運作提供文字依據(jù),為責任和獎懲提供明確依據(jù),為質(zhì)量改進提供原始依據(jù)。15.1.7應加強施工現(xiàn)場的防火工作,嚴格執(zhí)行防火安全規(guī)定,施工隊伍進人現(xiàn)場應建立防火組織,責任到人。15.1.8應做好安全技術(shù)工作的書面交底,并認真做好記錄,加強防范意識。上海溫濕度無塵室檢測標準潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應用于半導體生產(chǎn)。
3.2.1裝配式混凝土結(jié)構(gòu)的潔凈室,應在預制構(gòu)件上按設計圖紙預留孔、洞。3.2.2有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要求采用抗?jié)B混凝土,并應制定配合比操作程序,按相關(guān)要求先做試塊的抗?jié)B試驗,澆筑后應分層搗實,加強養(yǎng)護管理。3.2.3潔凈區(qū)內(nèi)的現(xiàn)澆混凝土剪力墻模板不宜采用拼縫較多的組合鋼模板,宜采用大尺寸硬木面層厚型膠合板。3.2.4對大面積潔凈空間采用的結(jié)構(gòu)模板,應分區(qū)設控制點,多級復核。應防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精細施工,應隨搗隨抹光,一次性達到建筑設計標高。模板的密封膠填縫與固定應同時進行,不得遺漏。3.2.5砌體施工質(zhì)量控制等級應滿足現(xiàn)行國家標準《砌體工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50203第3.0.10條的A級要求。3.2.6對分割潔凈室相關(guān)受控環(huán)境的空間成為各自**密封體到頂?shù)奶畛鋲?,墻體(板)與梁、板底的縫隙應填充密實,并應作密封處理。
6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作:1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具,不應采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直,切口表面應平整、無裂紋,應去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時,宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件,安裝前應按相關(guān)規(guī)定方法進行脫脂,脫脂應在遠離潔凈室的地點進行,并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。在未來,隨著科技的不斷推進,無塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再***,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。凡不符合單向流定義的氣流。江蘇潔凈室無塵室檢測值得推薦
無塵室的潔凈技術(shù)不斷發(fā)展完善,為更多領(lǐng)域的發(fā)展帶來新的可能。江蘇風速無塵室檢測規(guī)范性強
11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時,現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上;現(xiàn)場除正常照明外,應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前,應徹底清潔,并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面,設備的軟膠輪應予包裹,避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時,穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封,并應裝飾處理。江蘇風速無塵室檢測規(guī)范性強