B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關,而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100:1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度,為對數(shù)刻度;橫座標表示濃度,為線性刻度)。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應先啟動送風機,再啟動回風機和排風機。北京噪音潔凈室檢測規(guī)范性強
4.1.2潔凈廠房內(nèi)當布置有精密設備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時,為解決防微振問題,在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中,需要對周圍振源的振動影響作出評價,以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響,是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加,目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法。因此,應立足于實測。過去有的工廠,由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測,建成后發(fā)現(xiàn)對精密設備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產(chǎn)、試驗帶來很大困難,這說明實測振源振動影響是非常必要的。上海實驗室環(huán)境潔凈室檢測公司潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。
6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,應采用雙層固定窗,并應有良好的氣密性,同時應采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求:1應滿足使用功能的要求,構造和施工縫隙應采取密閉措施;2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺;4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r,活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質(zhì)壁板構造。
9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇,應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求,并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況,經(jīng)技術經(jīng)濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管,套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料,不得產(chǎn)生污染物,外表面應平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵,對給水系統(tǒng)要求較為嚴格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格,因此應根據(jù)不同的要求設置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設計中應留有充分的余量。嚴寒及寒冷地區(qū)的新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。江蘇過濾器潔凈室檢測流程
潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。北京噪音潔凈室檢測規(guī)范性強
15.3.2有微振動控制要求的潔凈室(區(qū)),其建筑結(jié)構的微振動控制設計,應符合下列規(guī)定:1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上,且基礎應有足夠剛度;2應設置**的建筑結(jié)構微振動控制體系,并應與廠房主體結(jié)構分隔;3主體結(jié)構應根據(jù)微振動控制的要求,適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道,宜采取主動隔振措施,并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座);2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。北京噪音潔凈室檢測規(guī)范性強