7.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;2生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;3對(duì)溫、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),6系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過(guò)程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。北京過(guò)濾器潔凈室檢測(cè)方法工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。
9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線(xiàn)應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè),并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時(shí),各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。
D.3.10自?xún)魰r(shí)間檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。2自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自?xún)魰r(shí)間(to),與實(shí)測(cè)自?xún)魰r(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比,如果t≤12to,為合格。4自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
4.1.2潔凈廠房?jī)?nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時(shí),為解決防微振問(wèn)題,在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場(chǎng)地選擇過(guò)程中,需要對(duì)周?chē)裨吹恼駝?dòng)影響作出評(píng)價(jià),以確定該廠址或場(chǎng)地是否適宜建設(shè)。周?chē)裨磳?duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響,是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加,目前還沒(méi)有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此,應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過(guò)去有的工廠,由于建廠前沒(méi)有對(duì)周?chē)黝?lèi)振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè),建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來(lái)很大困難,這說(shuō)明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的。無(wú)菌室的潔凈度直接決定了實(shí)驗(yàn)室的微生物結(jié)果的可信度。安徽口罩生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境潔凈室檢測(cè)哪家好
潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無(wú)關(guān)的房間。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
C.3已裝過(guò)濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過(guò)濾系統(tǒng)掃描檢漏前,應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè)。C.3.2過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑(MMD)一般為0.5μm~0.7μm,幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7];濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳;高于80mg/m,長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過(guò)度污染過(guò)濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注:當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過(guò)濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過(guò)濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過(guò)濾器的周邊、過(guò)濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值:當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí),就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處,采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間,光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)