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江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-12-16

無塵室凈化關(guān)鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度,使商品能在一個(gè)優(yōu)良之自然環(huán)境室內(nèi)空間中生產(chǎn)制造、生產(chǎn)制造,此室內(nèi)空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構(gòu)一般可分成三種:不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材,頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板、抗靜電網(wǎng)格圖簾及亞克力有機(jī)玻璃板等原材料。周邊一般全是選用抗靜電網(wǎng)格圖簾或者有機(jī)玻璃板,排風(fēng)部用均選用FFU的清潔排風(fēng)模塊。人員在進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的,無塵室檢測

11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時(shí),現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行24h以上;現(xiàn)場除正常照明外,應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升、牽引或定位的**設(shè)備在進(jìn)人潔凈室安裝現(xiàn)場前,應(yīng)徹底清潔,并應(yīng)檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進(jìn)入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時(shí)應(yīng)妥善保護(hù)墻壁與地面,設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹,避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時(shí),穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封,并應(yīng)裝飾處理。潔凈工作臺無塵室檢測價(jià)格潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的,無塵室檢測

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進(jìn)行,凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,一般可用熱球式風(fēng)速儀,需要測出分速度時(shí),應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。E.1.4對于單向流潔凈室,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,如有阻隔面,該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上 0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面 0.5m 的垂直于地面的截面,截面上測點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,一般取 0.3m。測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于 20 個(gè),均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室,內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量,為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,也可用風(fēng)口法。

11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理,并應(yīng)平整、無麻面、不起塵。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線,不應(yīng)設(shè)排水溝。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏,地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求。當(dāng)無明確要求時(shí),不應(yīng)小于70mm。冷凝水出水管應(yīng)有閥門,無冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉,并應(yīng)有提示標(biāo)志。11.3.7當(dāng)空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負(fù)壓段時(shí),地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座,底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架,不得在空調(diào)機(jī)組壁板上開設(shè)固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機(jī)組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。

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食品衛(wèi)生質(zhì)量直接關(guān)系到人們的身體健身和生命安全。影響食品衛(wèi)生質(zhì)量的因素有生產(chǎn)原料及輔料、生產(chǎn)工藝技術(shù)和生產(chǎn)環(huán)境等。食品生產(chǎn)環(huán)境包括可能與食品接觸 的設(shè)備(工器具)、人員和空氣等,其安全生產(chǎn)控制的目的是為了防止食品在不衛(wèi)生的條件下加工。食品生產(chǎn)用潔凈間(區(qū))的污染控制是食品生產(chǎn)環(huán)境控制的關(guān)鍵 環(huán)節(jié),其控制對象包括塵粒和微生物??諝庵械奈⑸餆o處不在,并常附著在塵埃粒子上,隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播??諝庵械膲m埃粒子越多,細(xì)菌附著在塵埃粒子上的機(jī)會(huì)越大,傳播的機(jī)會(huì)也增加。同樣,病毒也會(huì)附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此,控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。在未來,隨著科技的不斷推進(jìn),無塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用。安徽潔凈室環(huán)境無塵室檢測方法

利用高速潔凈氣流吹落進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的