3.1.1電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì),同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置,其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。上海無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)報(bào)告
D.3.5氣流流型的檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。2氣流目測(cè)法有示蹤線(xiàn)法、示蹤劑注人法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線(xiàn)法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測(cè),本法一般是與示蹤法結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。北京國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)頻率應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
6.1.1潔凈廠(chǎng)房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠(chǎng)房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠(chǎng)房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠(chǎng)房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿(mǎn)足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠(chǎng)房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠(chǎng)房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠(chǎng)房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。
5.3.5潔凈廠(chǎng)房空氣吹淋室的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí),應(yīng)設(shè)氣閘室;2吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位;3單人空氣吹淋室,應(yīng)按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室(區(qū))工作人員超過(guò)5人時(shí),空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門(mén);4空氣吹淋室的進(jìn)、出門(mén)不得同時(shí)開(kāi)啟,應(yīng)采取連鎖控制措施;5空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室(區(qū)),宜設(shè)氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級(jí),宜由外至內(nèi)逐步潔凈,室內(nèi)可送入經(jīng)過(guò)高效空氣過(guò)濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí);當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時(shí),洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)宜為8級(jí)。工業(yè)潔凈室--以無(wú)生命的微粒作為控制對(duì)象。
6.3.1潔凈廠(chǎng)房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50,材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿(mǎn)足使用功能的要求,且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應(yīng)減少凹凸面,2當(dāng)采用踢腳時(shí),踢腳不宜突出墻面。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起。江蘇生物安全柜潔凈室檢測(cè)價(jià)格
定期檢測(cè)潔凈度,確??諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定。上海無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)報(bào)告
潔凈廠(chǎng)房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類(lèi)生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠(chǎng)在實(shí)際生產(chǎn)中,在線(xiàn)維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線(xiàn)應(yīng)采用可靠氣密措施等。上海無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)報(bào)告