15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。上海手術(shù)室潔凈室檢測服務

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設計得過高是不經(jīng)濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術(shù)夾層層高時，應進行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟上合理。半導體凈化車間潔凈室檢測評估以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。

D.3.5氣流流型的檢測，應符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術(shù)進***流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內(nèi)。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時，也可根據(jù)具體要求分別設置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年**小頻率風向下風側(cè)；3在廠區(qū)內(nèi)應布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。江蘇國內(nèi)潔凈室檢測報告

潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。上海手術(shù)室潔凈室檢測服務

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術(shù)夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設備或公用動力設備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。上海手術(shù)室潔凈室檢測服務