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近年來(lái),國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房,一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區(qū))的潔凈度等級(jí)確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí),還有一些潔凈廠房雖然沒(méi)有對(duì)潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級(jí)要求,但室內(nèi)采用高效空氣過(guò)濾送風(fēng)系統(tǒng),或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此,本次修訂時(shí)對(duì)潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈區(qū)1級(jí)~2級(jí)和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)”的規(guī)定取消,修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對(duì)空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi):“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)確定”。不再規(guī)定具體的“等級(jí)”或“等級(jí)范圍”。對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。江蘇生物安全柜潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí),也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門(mén)、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。江蘇無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。
10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī),5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。
1近年來(lái),在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí),選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí),選用亂流流型。
D.3.7噪聲檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。D.3.8照度測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng)。江蘇照度潔凈室檢測(cè)頻率
設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力、效率應(yīng)相近。江蘇生物安全柜潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
D.3.5氣流流型的檢測(cè),應(yīng)符合下列規(guī)定:1氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。2氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注人法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。3示蹤線法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在**度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測(cè),本法一般是與示蹤法結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。江蘇生物安全柜潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上