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福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責

來源: 發(fā)布時間:2025-02-27

B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據,因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計數(shù)器采樣口的尺寸應適應等動力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計數(shù)器的采樣口應朝上,采樣口直徑應不小于30mm。設定計數(shù)器的粒徑范圍,使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應保留一個低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據加到大粒徑數(shù)據中,濃度之和不應超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。通過潔凈室檢測,可以有效降低產品生產過程中的污染風險。福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責

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潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子??臻g內其它有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間內空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度止這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責潔凈室檢測不僅關注硬件設施的完善,還注重人員操作的規(guī)范性。

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B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性,可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側的離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上,安裝一個粒徑限制器。改動后,計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內。粒徑限制器***小于規(guī)定粒徑的粒子,以準確且可再現(xiàn)的方式降低透過率。粒徑限制器多種多樣,其大小和配置各異,只要它們具有所要求的透過率即可接受。合適的粒徑限制器包括擴散元件和虛擬撞擊器。透過率隨粒子的物理特性、限制器構造和體積流量而變化。因此,使用粒徑限制器時要小心,它們只能用于規(guī)定的流量,安裝時要防靜電累積。為了減少電荷累積,粒徑限制器應有良好的接地。

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經發(fā)展到奈米級的水準,隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。在工作區(qū)應避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)。

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在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內臟空氣沿整個斷面排到室外,達到凈化室內空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動,使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回,在單流潔凈室和單流凈化設備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設備,如潔凈工作臺,這種氣流會導致外部污染氣流。在設計中,必須減少濾框占用的無效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風截面。潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風側,以減少對室內的污染。福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責

潔凈室檢測后,需形成詳細的檢測報告,記錄各項指標數(shù)據。福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責

潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統(tǒng)調整之后進行。進行這項檢測時,空調系統(tǒng)已經充分運轉,各項狀況已經穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。福建電子廠房環(huán)境檢測認真負責